Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Центр измерений свойств материалов, Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, . . . Sivin D. O. Denis Olegovich. (2016). Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing. 2016. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.04.012
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Центр измерений свойств материалов, Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Shulepov I. A. Ivan Anisimovich, and Sivin D. O. Denis Olegovich. Investigation of Filtered Vacuum Arc Plasma Application for TiAlN and TiSiB Coatings Deposition Using Ion Beam and Plasma Material Processing. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.04.012.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Лаборатория № 22, et al. Investigation of Filtered Vacuum Arc Plasma Application for TiAlN and TiSiB Coatings Deposition Using Ion Beam and Plasma Material Processing. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.04.012.