Сверхтвердые нанокристаллические покрытия
| Parent link: | Физическая мезомеханика.— , 1998- Т. 7, № S2.— 2004.— [С. 3-7] |
|---|---|
| Drugi avtorji: | , , , , , |
| Izvleček: | Заглавие с экрана Методами рентгеноструктурного анализа и электронной микроскопии выполнено исследование особенностей субструктуры и величины локальных внутренних напряжений в нано- и нанокомпозитных покрытиях TiN, n-TiN/Cu, n-AlN/Cu вблизи поверхности их сопряжения с подложкой и на расстоянии h = 2-3 мкм. Показано, что в покрытиях n-AlN/Cu по всей толщине обнаруживается нанозеренная (d < 20-25 нм) структура, тогда как в покрытиях нитрида титана наблюдается двухуровневая зеренная структура, высокая кривизна-кручение решетки и высокий уровень локальных внутренних напряжений. Предполагается, что указанные особенности связаны с механизмом роста покрытий. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Министерства образования РФ и CRDF в рамках программы BRHE (проект № ТО-016-02). Using X-ray diffraction analysis and electron microscopy we study peculiarities of the substructure and the value of local internal stresses in nano- and nanocomposite coatings TiN, n-TiN/C, n-AlN/Cu near the interface coating - substrate and at a distance of 2-3 ?m. It is shown that across the whole thickness of n-AlN/Cu coatings the nanograin structure (d < 20-25 nm) arises, whereas TiN coatings are characterized by the two-scale grain structure, high bending-torsion of the lattice and high local internal stresses. These peculiarities is assumed to be governed by the mechanism of coating growth. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
2004
|
| Teme: | |
| Online dostop: | http://elibrary.ru/item.asp?id=10332365 |
| Format: | Elektronski Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648693 |