Сверхтвердые нанокристаллические покрытия
| Parent link: | Физическая мезомеханика.— , 1998- Т. 7, № S2.— 2004.— [С. 3-7] |
|---|---|
| Rannpháirtithe: | , , , , , |
| Achoimre: | Заглавие с экрана Методами рентгеноструктурного анализа и электронной микроскопии выполнено исследование особенностей субструктуры и величины локальных внутренних напряжений в нано- и нанокомпозитных покрытиях TiN, n-TiN/Cu, n-AlN/Cu вблизи поверхности их сопряжения с подложкой и на расстоянии h = 2-3 мкм. Показано, что в покрытиях n-AlN/Cu по всей толщине обнаруживается нанозеренная (d < 20-25 нм) структура, тогда как в покрытиях нитрида титана наблюдается двухуровневая зеренная структура, высокая кривизна-кручение решетки и высокий уровень локальных внутренних напряжений. Предполагается, что указанные особенности связаны с механизмом роста покрытий. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Министерства образования РФ и CRDF в рамках программы BRHE (проект № ТО-016-02). Using X-ray diffraction analysis and electron microscopy we study peculiarities of the substructure and the value of local internal stresses in nano- and nanocomposite coatings TiN, n-TiN/C, n-AlN/Cu near the interface coating - substrate and at a distance of 2-3 ?m. It is shown that across the whole thickness of n-AlN/Cu coatings the nanograin structure (d < 20-25 nm) arises, whereas TiN coatings are characterized by the two-scale grain structure, high bending-torsion of the lattice and high local internal stresses. These peculiarities is assumed to be governed by the mechanism of coating growth. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Teanga: | Rúisis |
| Foilsithe / Cruthaithe: |
2004
|
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | http://elibrary.ru/item.asp?id=10332365 |
| Formáid: | Leictreonach Caibidil leabhair |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648693 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 648693 | ||
| 005 | 20250224145457.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13852 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\13839 | ||
| 090 | |a 648693 | ||
| 100 | |a 20160531d2004 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Сверхтвердые нанокристаллические покрытия |d Superhard nanocrystalline coatings |f А. Д. Коротаев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 330 | |a Методами рентгеноструктурного анализа и электронной микроскопии выполнено исследование особенностей субструктуры и величины локальных внутренних напряжений в нано- и нанокомпозитных покрытиях TiN, n-TiN/Cu, n-AlN/Cu вблизи поверхности их сопряжения с подложкой и на расстоянии h = 2-3 мкм. Показано, что в покрытиях n-AlN/Cu по всей толщине обнаруживается нанозеренная (d < 20-25 нм) структура, тогда как в покрытиях нитрида титана наблюдается двухуровневая зеренная структура, высокая кривизна-кручение решетки и высокий уровень локальных внутренних напряжений. Предполагается, что указанные особенности связаны с механизмом роста покрытий. Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Министерства образования РФ и CRDF в рамках программы BRHE (проект № ТО-016-02). | ||
| 330 | |a Using X-ray diffraction analysis and electron microscopy we study peculiarities of the substructure and the value of local internal stresses in nano- and nanocomposite coatings TiN, n-TiN/C, n-AlN/Cu near the interface coating - substrate and at a distance of 2-3 ?m. It is shown that across the whole thickness of n-AlN/Cu coatings the nanograin structure (d < 20-25 nm) arises, whereas TiN coatings are characterized by the two-scale grain structure, high bending-torsion of the lattice and high local internal stresses. These peculiarities is assumed to be governed by the mechanism of coating growth. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Физическая мезомеханика |d 1998- | ||
| 463 | |t Т. 7, № S2 |v [С. 3-7] |d 2004 | ||
| 510 | 1 | |a Superhard nanocrystalline coatings |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 701 | 1 | |a Коротаев |b А. Д. | |
| 701 | 1 | |a Тюменцев |b А. Н. | |
| 701 | 1 | |a Пинжин |b Ю. П. | |
| 701 | 1 | |a Овчинников |b С. В. | |
| 701 | 1 | |a Коваль |b Н. Н. |c специалист в области электроники |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831 |9 15926 | |
| 701 | 1 | |a Гончаренко |b И. М. | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20161018 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=10332365 | |
| 942 | |c CF | ||