Radiation-induced deposition of transparent conductive tin oxide coatings; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015)
| Parent link: | IOP Conference Series: Materials Science and Engineering Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015).— 2016.— [012148, 5 p.] |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 企業作者: | |
| 其他作者: | , |
| 總結: | Title screen The study of tin oxide films is stimulated by the search for an alternative replacement of indium-tin oxide (ITO) films used as transparent conductors, oxidation catalysts, material gas sensors, etc. This work was aimed at studying the influence of argon ions irradiation on optical and electrical characteristics of tin oxide films. Thin films of tin oxide (without dopants) were deposited on glass substrates at room temperature using reactive magnetron sputtering. After deposition, the films were irradiated with an argon ion beam. The current density of the beam was (were) 2.5 mA/cm{2}, and the particles energy was 300-400 eV. The change of the optical and electrical properties of the films depending on the irradiation time was studied. Films optical properties were investigated by photometry in the range of 300-1100 nm. Films structural properties were studied using X-ray diffraction. The diffractometric research showed that the films, deposited on a substrate, had a crystal structure, and after argon ions irradiation they became quasi-crystalline (amorphous). It has been found that the transmission increases proportionally with the irradiation time, however the sheet resistance increases disproportionally. Tin oxide films (thickness ~30 nm) with ~100% transmittance and sheet resistance of ~100 kOhm/sq. were obtained. The study has proved to be prospective in the use of ion beams to improve the properties of transparent conducting oxides. |
| 語言: | 英语 |
| 出版: |
2016
|
| 叢編: | Materials Science in Mechanical Engineering |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/124/1/012148 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/33894 |
| 格式: | 電子 Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648620 |
相似書籍
Modification of optical and electrical properties of SnO[2] under the influence of argon ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
由: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
出版: (2017)
由: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
出版: (2017)
Радиационно-стимулированное осаждение прозрачных электропроводящих покрытий оксида олова; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
由: Умнов С. П. Сергей Павлович
出版: (2015)
由: Умнов С. П. Сергей Павлович
出版: (2015)
Influence irradiation argon ion SnO[2] on optical and electrical characteristics; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
由: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
出版: (2017)
由: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
出版: (2017)
Modification of optical and electrical pr operties Sn0[2] under the influence of argon ion beam; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
由: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
出版: (2016)
由: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
出版: (2016)
Change Spectrum Characteristics Modification of Films Deposited by Magnetron Sputtering with the Assistance of Argon Ions Beam; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
由: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
出版: (2015)
由: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
出版: (2015)
Осаждение прозрачных электропроводящих покрытий на основе оксида олова; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
由: Теменков В. С.
出版: (2016)
由: Теменков В. С.
出版: (2016)
Synthesis of Transparent Conductive Coating In[2]O[3]:Sn Films from Film Forming Solutions; Applied Mechanics and Materials; Vol. 682 : Innovation Technology and Economics in Engineering
由: Kuznetsova S. A.
出版: (2014)
由: Kuznetsova S. A.
出版: (2014)
Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
由: Петрова Ю. С.
出版: (2009)
由: Петрова Ю. С.
出版: (2009)
Опыт технологии автоматической сварки толстых листов на стеклянной подложке; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении; Т. 1
由: Данилов В. И.
出版: (2004)
由: Данилов В. И.
出版: (2004)
Effect of ion irradiation on the surface energy of deposited coatings; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
出版: (2017)
出版: (2017)
Стекло в архитектуре
由: Соловьев С. П. Сергей Павлович
出版: (Москва, Стройиздат, 1981)
由: Соловьев С. П. Сергей Павлович
出版: (Москва, Стройиздат, 1981)
Investigation of the Microstructure and Mechanical Properties of Si-Al-N Transparent Coatings; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
出版: (2016)
出版: (2016)
Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
由: Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
出版: (Новосибирск, [Б. и.], 1973)
由: Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
出版: (Новосибирск, [Б. и.], 1973)
Asymmetry of the angular distribution of radiation of channeled relativistic electrons in optically transparent crystals; JETP Letters; Vol. 103, iss. 2
由: Korotchenko K. B. Konstantin Borisovich
出版: (2016)
由: Korotchenko K. B. Konstantin Borisovich
出版: (2016)
The influence of some model parameters on the impurity distribution implanted into substrate surface; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015)
由: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
出版: (2016)
由: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
出版: (2016)
Исследование характеристик тонких пленок диоксида олова при воздействии этанола и ацетона; Электронные приборы, системы и технологии
由: Кучерявенко В. С.
出版: (2011)
由: Кучерявенко В. С.
出版: (2011)
Суперлюминесценция светодиодных гетероструктур при возбуждении сильноточным электронным пучком; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 1-2
出版: (2013)
出版: (2013)
Stimulated Emission of Active Media in the Red Spectral Range; Russian Physics Journal; Vol. 59, iss. 1
出版: (2016)
出版: (2016)
Сравнительный анализ характеристик материалов светопропускающих материалов; Молодежь и современные информационные технологии
由: Долгалёва О. В.
出版: (2018)
由: Долгалёва О. В.
出版: (2018)
Formation of tin-tin oxide core-shell nanoparticles in the composite SnO2−x/nitrogen-doped carbon nanotubes by pulsed ion beam irradiation; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms; Vol. 394
出版: (2017)
出版: (2017)
Особенности экситонных спектров монокристаллов CdS(О); Известия вузов. Электроника; № 1 (93)
出版: (2012)
出版: (2012)
Визуализация с помощью лазерного монитора взаимодействия лазерного излучения с поверхностью стекло- и пироуглерода; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 312, № 2 : Математика и механика. Физика
出版: (2008)
出版: (2008)
Оптическая минералогия: пер. с англ.
由: Винчелл А. Н.
出版: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1953)
由: Винчелл А. Н.
出版: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1953)
The Properties and Fracture Behavior of Ion Plasma Sprayed TiN Coating on Stainless Steel Substrate; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
出版: (2015)
出版: (2015)
Накопление излучения на 6-МЭВ микротроне на основе стимулированного излучения Смита-Парселла; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
出版: (2005)
出版: (2005)
Acid-Base Properties Of Glass Substrate And SiO[2]-Bi[2]O[3]Thin-Film Systems Obtained On It; IOP Conference Series: Earth and Environmental Science; Vol. 50 : Ecology and safety in the technosphere: current problems and solutions
出版: (2017)
出版: (2017)
Optical Absorption Peculiarities of Al-Si-N Coatings Produced by Magnetron Sputtering; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
出版: (2016)
出版: (2016)
A new approach to produce calcium-phosphate coatings on titanium; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
由: Golovanova О. А.
出版: (2017)
由: Golovanova О. А.
出版: (2017)
Волоконная оптика
由: Лисица М. П. Михаил Павлович
出版: (Киев, Технiка, 1968)
由: Лисица М. П. Михаил Павлович
出版: (Киев, Технiка, 1968)
About laser heat absorbing impurities in the transparence matrix of pentaerythritol tetranitrate; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
出版: (2017)
出版: (2017)
Synthesis and Photocatalytic Properties of Tin(II) Oxide; Russian Journal of Applied Chemistry; Vol. 94, iss. 2
由: Kuznetsova S. A. Svetlana Anatoljevna
出版: (2021)
由: Kuznetsova S. A. Svetlana Anatoljevna
出版: (2021)
Effect of Polyethylene Glycol Immobilized into a Polymethacrylate Matrix on the Sorption of Rhodamine; Procedia Chemistry; Vol. 15 : Chemistry and Chemical Engineering in XXI century (CCE 2015)
出版: (2015)
出版: (2015)
Формирование ассиметричных трековых пор в полимерной матрице, облученных ионом аргона; Вестник НЯЦ РК; Вып. 3 (63)
由: Ахметшарипова Т. К. Тамина Канатовна
出版: (2015)
由: Ахметшарипова Т. К. Тамина Канатовна
出版: (2015)
Radiation Stability of Triple Coatings Based on Transition-Metal Nitrides Under Irradiation By Alpha Particles and Argon Ions; Russian Physics Journal; Vol. 59, iss 1
出版: (2016)
出版: (2016)
Low Cost Embedded Copper Mesh Based on Cracked Template for Highly Durability Transparent EMI Shielding Films; Materials; Vol. 15, iss. 4
出版: (2022)
出版: (2022)
Апробация фотометрического определения железа на УЛК "Экологический мониторинг" и "ТА-Эколаб-2"; Неразрушающий контроль
由: Мардиева З. А.
出版: (2011)
由: Мардиева З. А.
出版: (2011)
Характеристики состояния дисперсной среды на фильтрующей подложке; Теплофизические основы энергетических технологий
由: Василевский М. В. Михаил Викторович
出版: (2014)
由: Василевский М. В. Михаил Викторович
出版: (2014)
Спектроскопия вакуумного ультрафиолета
由: Зайдель А. Н. Александр Натанович
出版: (Москва, Наука, 1967)
由: Зайдель А. Н. Александр Натанович
出版: (Москва, Наука, 1967)
Влияние размера зерна подложки на механические характеристики материала с пористым керамическим покрытием; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Зиновьев А. В. Александр Валерьевич
出版: (2015)
由: Зиновьев А. В. Александр Валерьевич
出版: (2015)
Поверхностные свойства сплавов на основе свинца, олова, индия, кадмия
由: Дадашев Р. Х.
出版: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2016)
由: Дадашев Р. Х.
出版: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2016)