Cтруктура и свойства защитных mn-co-o покрытий на ферритной хромистой стали, нанесенных магнетронным распылением композитных мишеней

Dettagli Bibliografici
Parent link:Физика и химия обработки метериалов: научный журнал.— , 1967-
№ 5.— 2007.— [С. 23-31]
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Altri autori: Гаврилов Н. В., Иванов В. В., Мамаев А. С., Емлин Д. Р., Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович, Кузнецов М. В., Липилин А. С., Медведев А. И., Ремпель А. А.
Riassunto:Заглавие с экрана
Методом реактивного магнетронного распыления в кислородно-аргоновой смеси низкого давления композитных Мn-Со мишеней и последующего отжига на воздухе, на подложках из ферритной хромистой стали получены стойкие к окислению и обладающие повышенной электронной проводимостью при высоких температурах покрытия со структурой шпинели. Структура и состав покрытий исследовались методами рентгеноструктурного анализа, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной и оже-электронной спектроскопии. Проведены термогравиметрические испытания и измерения удельного поверхностного электросопротивления покрытий при температурах до 800°С. High temperature oxidation resistant Mn-Co-O spinel coatings with high electronic conductivity were deposited on ferritic stainless steel substrate by means of reactive magnetron sputtering of composite Мn-Со target in low pressure oxygen-argon gas mixture with subsequent heating in air. The coating structure and composition have been investigated by X-ray diffraction, scanning electron microscopy, XPS and AES methods. Thermogravimetric tests as well as area specific resistance measurements were carried out at temperatures up to 800°С.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Lingua:russo
Pubblicazione: 2007
Soggetti:
Accesso online:http://elibrary.ru/item.asp?id=11480835
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648547
Descrizione
Riassunto:Заглавие с экрана
Методом реактивного магнетронного распыления в кислородно-аргоновой смеси низкого давления композитных Мn-Со мишеней и последующего отжига на воздухе, на подложках из ферритной хромистой стали получены стойкие к окислению и обладающие повышенной электронной проводимостью при высоких температурах покрытия со структурой шпинели. Структура и состав покрытий исследовались методами рентгеноструктурного анализа, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной и оже-электронной спектроскопии. Проведены термогравиметрические испытания и измерения удельного поверхностного электросопротивления покрытий при температурах до 800°С. High temperature oxidation resistant Mn-Co-O spinel coatings with high electronic conductivity were deposited on ferritic stainless steel substrate by means of reactive magnetron sputtering of composite Мn-Со target in low pressure oxygen-argon gas mixture with subsequent heating in air. The coating structure and composition have been investigated by X-ray diffraction, scanning electron microscopy, XPS and AES methods. Thermogravimetric tests as well as area specific resistance measurements were carried out at temperatures up to 800°С.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса