Исследование основных механизмов энергетических потерь в источнике электронов с плазменным эмиттероми выводом пучка большого сечения в атмосферу; Плазменная эмиссионная электроника, ПЭЭ 2015

Detaylı Bibliyografya
Parent link:Плазменная эмиссионная электроника, ПЭЭ 2015.— 2015.— [С. 45-50]
Yazar: Нгуен Бао Хынг
Diğer Yazarlar: Коваль Т. В. Тамара Васильевна, Воробьёв М. С. Максим Сергеевич
Özet:Заглавие с экрана
В работе теоретически и экспериментально исследовались характеристики разрядной плазмы и ос-новные механизмы энергетических потерь в источнике электронов с плазменным эмиттером и выводомгенерируемого пучка в атмосферу через тонкую металлическую фольгу. Численные исследования показали,что характеристики разрядной плазмы (концентрация, температура и потенциал плазмы) зависят от сопро-тивления в цепи полого анода разрядной системы и площади поверхности маски. Исследования на основетеоретической модели показали, что основные энергетические потери пучка связаны с ионным током, воз-никающим в результате объемной ионизации газа электронами пучка, а также в результате ионизации де-сорбированного c поверхности выводной фольги и опорной решетки рабочего и остаточного газа.
Dil:Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi: 2015
Konular:
Online Erişim:http://ipms.bscnet.ru/conferenc/krnd_sem/2015pub.pdf#page=46
Materyal Türü: Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648443
Diğer Bilgiler
Özet:Заглавие с экрана
В работе теоретически и экспериментально исследовались характеристики разрядной плазмы и ос-новные механизмы энергетических потерь в источнике электронов с плазменным эмиттером и выводомгенерируемого пучка в атмосферу через тонкую металлическую фольгу. Численные исследования показали,что характеристики разрядной плазмы (концентрация, температура и потенциал плазмы) зависят от сопро-тивления в цепи полого анода разрядной системы и площади поверхности маски. Исследования на основетеоретической модели показали, что основные энергетические потери пучка связаны с ионным током, воз-никающим в результате объемной ионизации газа электронами пучка, а также в результате ионизации де-сорбированного c поверхности выводной фольги и опорной решетки рабочего и остаточного газа.