Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий
| Parent link: | Ученые записки Петрозаводского государственного университета. Серия: естественные и технические науки.— , 1947- № 2.— 2010.— [С. 86-95] |
|---|---|
| 団体著者: | |
| その他の著者: | , , , , , , |
| 要約: | Заглавие с экрана В статье представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН. Они позволяют проводить ионно-плазменную очистку и активацию поверхности изделий и ее азотирование с последующим нанесением сверхпрочных наноструктурных покрытий либо электронно-лучевую обработку поверхности с ее оплавлением, изменяющую ее фазовый состав (вплоть до наноструктурирования), шероховатости и твердости Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
2010
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://elibrary.ru/item.asp?id=16986462 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648442 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 648442 | ||
| 005 | 20250221114152.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13599 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\13597 | ||
| 090 | |a 648442 | ||
| 100 | |a 20160520d2010 k||y0rusy50 ba | ||
| 101 | 0 | |a eng | |
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий |f С. В. Григорьев [и др.] | |
| 203 | |a Text |c electronic | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 95 (7 назв.)] | ||
| 330 | |a В статье представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН. Они позволяют проводить ионно-плазменную очистку и активацию поверхности изделий и ее азотирование с последующим нанесением сверхпрочных наноструктурных покрытий либо электронно-лучевую обработку поверхности с ее оплавлением, изменяющую ее фазовый состав (вплоть до наноструктурирования), шероховатости и твердости | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Ученые записки Петрозаводского государственного университета. Серия: естественные и технические науки |d 1947- | ||
| 463 | |t № 2 |v [С. 86-95] |d 2010 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a электроразрядное оборудование | |
| 610 | 1 | |a ионно-плазменные технологии | |
| 610 | 1 | |a азотирование | |
| 610 | 1 | |a осаждение покрытий | |
| 610 | 1 | |a электронный пучок | |
| 610 | 1 | |a модификация поверхности | |
| 701 | 1 | |a Григорьев |b С. В. | |
| 701 | 1 | |a Девятков |b В. Н. | |
| 701 | 1 | |a Денисов |b В. В. | |
| 701 | 1 | |a Коваль |b Н. Н. |c специалист в области электроники |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831 |9 15926 | |
| 701 | 1 | |a Лопатин |b И. В. | |
| 701 | 1 | |a Шугуров |b В. В. | |
| 701 | 1 | |a Яковлев |b В. В. | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |c (2009- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20161017 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=16986462 | |
| 942 | |c CF | ||