Электроразрядное оборудование и технологии создания наноструктурных слоев и покрытий
| Parent link: | Ученые записки Петрозаводского государственного университета. Серия: естественные и технические науки.— , 1947- № 2.— 2010.— [С. 86-95] |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана В статье представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН. Они позволяют проводить ионно-плазменную очистку и активацию поверхности изделий и ее азотирование с последующим нанесением сверхпрочных наноструктурных покрытий либо электронно-лучевую обработку поверхности с ее оплавлением, изменяющую ее фазовый состав (вплоть до наноструктурирования), шероховатости и твердости Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=16986462 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648442 |
| Summary: | Заглавие с экрана В статье представлены вакуумные ионно-плазменные и электронно-лучевые установки для модификации поверхности материалов и изделий, разработанные в Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН. Они позволяют проводить ионно-плазменную очистку и активацию поверхности изделий и ее азотирование с последующим нанесением сверхпрочных наноструктурных покрытий либо электронно-лучевую обработку поверхности с ее оплавлением, изменяющую ее фазовый состав (вплоть до наноструктурирования), шероховатости и твердости Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|