Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Журнал технической физики.— , 1931- Т. 86, вып. 2.— 2016.— [С. 59-64]
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики
Altres autors:	Оскомов К. В. Константин Владимирович, Захаров А. Н. Александр Николаевич, Работкин С. В. Сергей Викторович, Соловьёв А. А. Андрей Александрович
Sumari:	Заглавие с экрана Представлены результаты исследований свойств сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий, осажденных методом импульсного сильноточного магнетронного реактивного распыления (напряжение импульса разряда 300-900 V, ток импульса разряда до 200 A, длительность импульса разряда 10-100 mus, частота повторения импульсов 20-2000 Hz). Показано, что при короткой длительности импульса распыления (25 mus) и большем токе разряда (160 A) пленки обладают высокой твердостью (66 GPa), износостойкостью, лучшей адгезией и более низким коэффициентом трения скольжения. Причиной этого является увеличение ионной бомбардировки растущего покрытия за счет более высокой плотности плазмы в районе подложки (1013 cm-3) и многократное повышение степени ионизации плазмы с ростом пикового тока разряда, причем, преимущественно за счет распыляемого материала. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Publicat:	2016
Col·lecció:	Физическое материаловедение
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление импульсы осаждение
Accés en línia:	http://journals.ioffe.ru/articles/42741 http://elibrary.ru/item.asp?id=25669200
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648317

Ítems similars

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
per: Шпакова Н. Ю.
Publicat: (2009)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
per: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Publicat: (2022)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2015)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
per: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicat: (2020)

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
Publicat: (2013)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Publicat: (2016)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления
per: Рунц А. А.
Publicat: (2022)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂
Publicat: (2013)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
per: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publicat: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
per: Зелецов Д.
Publicat: (2019)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2012)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
per: Гаранин Ю. А.
Publicat: (2022)

Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда
Publicat: (2016)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2016)

Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N
per: Гаранин Ю. А.
Publicat: (2023)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
per: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2009)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
per: Рогожников Д. С.
Publicat: (2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Publicat: (2013)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления
Publicat: (2014)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
per: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2016)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства
Publicat: (2006)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления
per: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Publicat: (2010)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
per: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicat: (2010)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
per: Грибенников М. В.
Publicat: (2013)

Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления
Publicat: (2011)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Publicat: (2019)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме
per: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Publicat: (2022)

Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления
Publicat: (2015)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления
Publicat: (2008)

Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней
Publicat: (2012)

Изменение микроструктуры и механических свойств защитных покрытий на основе Si-Al-N при легировании рением с помощью магнетронного распыления мишени ALSIRE в атмосфере азота и аргона
per: Турсунханова Р. Рыскуль
Publicat: (2024)

Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа
Publicat: (2021)

Исследование физико-механических свойств защитных покрытий систем Al-Si-N и Zr-Y-O, сформированных в условиях импульсного магнетронного осаждения
per: Ду Яфэн
Publicat: (2021)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления
per: Просолов К. А. Константин Александрович
Publicat: (2017)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления
per: Сурменева М. А. Мария Александровна
Publicat: (2010)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Publicat: (Томск, 2018)

Структурные характеристики оксидных и оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и оценка их гемосовместимых свойств in vitro
Publicat: (2016)

Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления
Publicat: (2019)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
per: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicat: (2021)