Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
| Parent link: | Журнал технической физики.— , 1931- Т. 86, вып. 2.— 2016.— [С. 59-64] |
|---|---|
| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | , , , |
| Zusammenfassung: | Заглавие с экрана Представлены результаты исследований свойств сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий, осажденных методом импульсного сильноточного магнетронного реактивного распыления (напряжение импульса разряда 300-900 V, ток импульса разряда до 200 A, длительность импульса разряда 10-100 mus, частота повторения импульсов 20-2000 Hz). Показано, что при короткой длительности импульса распыления (25 mus) и большем токе разряда (160 A) пленки обладают высокой твердостью (66 GPa), износостойкостью, лучшей адгезией и более низким коэффициентом трения скольжения. Причиной этого является увеличение ионной бомбардировки растущего покрытия за счет более высокой плотности плазмы в районе подложки (1013 cm-3) и многократное повышение степени ионизации плазмы с ростом пикового тока разряда, причем, преимущественно за счет распыляемого материала. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Veröffentlicht: |
2016
|
| Schriftenreihe: | Физическое материаловедение |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://journals.ioffe.ru/articles/42741 http://elibrary.ru/item.asp?id=25669200 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=648317 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 648317 | ||
| 005 | 20250220125856.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13474 | ||
| 090 | |a 648317 | ||
| 100 | |a 20160517d2016 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления |f К. В. Оскомов [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 225 | 1 | |a Физическое материаловедение | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 64 (15 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлены результаты исследований свойств сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий, осажденных методом импульсного сильноточного магнетронного реактивного распыления (напряжение импульса разряда 300-900 V, ток импульса разряда до 200 A, длительность импульса разряда 10-100 mus, частота повторения импульсов 20-2000 Hz). Показано, что при короткой длительности импульса распыления (25 mus) и большем токе разряда (160 A) пленки обладают высокой твердостью (66 GPa), износостойкостью, лучшей адгезией и более низким коэффициентом трения скольжения. Причиной этого является увеличение ионной бомбардировки растущего покрытия за счет более высокой плотности плазмы в районе подложки (1013 cm-3) и многократное повышение степени ионизации плазмы с ростом пикового тока разряда, причем, преимущественно за счет распыляемого материала. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Журнал технической физики |d 1931- | ||
| 463 | |t Т. 86, вып. 2 |v [С. 59-64] |d 2016 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a импульсы | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 701 | 1 | |a Оскомов |b К. В. |g Константин Владимирович | |
| 701 | 1 | |a Захаров |b А. Н. |g Александр Николаевич | |
| 701 | 1 | |a Работкин |b С. В. |g Сергей Викторович | |
| 701 | 1 | |a Соловьёв |b А. А. |c специалист в области водородной энергетики |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1977- |g Андрей Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694 |9 13504 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Физико-технический институт |b Кафедра экспериментальной физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 |9 27946 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160517 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://journals.ioffe.ru/articles/42741 | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=25669200 | |
| 942 | |c CF | ||