Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Оскомов К. В. Константин Владимирович, Захаров А. Н. Александр Николаевич, Работкин С. В. Сергей Викторович, & Соловьёв А. А. Андрей Александрович. (2016). Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2. 2016.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Оскомов К. В. Константин Владимирович, Захаров А. Н. Александр Николаевич, Работкин С. В. Сергей Викторович, und Соловьёв А. А. Андрей Александрович. Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2. 2016, 2016.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2. 2016, 2016.