Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 11-3.— 2014.— [С. 88-92] |
|---|---|
| Müşterek Yazar: | |
| Diğer Yazarlar: | , , , |
| Özet: | Заглавие с экрана Показана возможность управления элементным составом покрытий на основе нитрида титана путем изменения параметров дугового разряда плазменного источника с комбинированным накаленным и полым катодом «ПИНК» при вакуумно-дуговом плазменно-ассистированном осаждении покрытий. Выявлено влияние тока разряда «ПИНК» на параметры газометаллической плазмы и концентрацию элементов в покрытиях. The parameters of mixed gas-metal plasma were measured and analyzed. The results were compared with those of independent gas and metal plasmas. The influence of ion-plasma assistance on the element composition of coatings based on titanium nitride is shown, specifically in regard to the influence of parameters of non-self-sustained arc discharge based on a combined filament and hollow cathode (“PINK”). The possibility of element concentration control in coatings based on titanium nitride by change of parameters of arc discharge of a plasma source “PINK” is experimentally shown at the vacuum arc plasma-assisted deposition. It is revealed influence of arc current of "PINK" on parameters of gas-metal plasma and concentration of elements in coatings. The detected effect can be applied to synthesis of gradient or multilayered coatings with change of stoichiometry of layers without changing pressure of working gas and arc current of evaporator. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Dil: | Rusça |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
2014
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | http://elibrary.ru/item.asp?id=23024945 |
| Materyal Türü: | Elektronik Kitap Bölümü |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647872 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 647872 | ||
| 005 | 20250217160215.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13029 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\13028 | ||
| 090 | |a 647872 | ||
| 100 | |a 20160426d2014 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий |d Generation of low-temperature plasma of low-pressure arc discharges for synthesis of wear-resistant nitride coatings |f О. В. Крысина [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 330 | |a Показана возможность управления элементным составом покрытий на основе нитрида титана путем изменения параметров дугового разряда плазменного источника с комбинированным накаленным и полым катодом «ПИНК» при вакуумно-дуговом плазменно-ассистированном осаждении покрытий. Выявлено влияние тока разряда «ПИНК» на параметры газометаллической плазмы и концентрацию элементов в покрытиях. | ||
| 330 | |a The parameters of mixed gas-metal plasma were measured and analyzed. The results were compared with those of independent gas and metal plasmas. The influence of ion-plasma assistance on the element composition of coatings based on titanium nitride is shown, specifically in regard to the influence of parameters of non-self-sustained arc discharge based on a combined filament and hollow cathode (“PINK”). The possibility of element concentration control in coatings based on titanium nitride by change of parameters of arc discharge of a plasma source “PINK” is experimentally shown at the vacuum arc plasma-assisted deposition. It is revealed influence of arc current of "PINK" on parameters of gas-metal plasma and concentration of elements in coatings. The detected effect can be applied to synthesis of gradient or multilayered coatings with change of stoichiometry of layers without changing pressure of working gas and arc current of evaporator. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 57, № 11-3 |v [С. 88-92] |d 2014 | ||
| 510 | 1 | |a Generation of low-temperature plasma of low-pressure arc discharges for synthesis of wear-resistant nitride coatings |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a дуговой разряд | |
| 610 | 1 | |a газометаллическая плазма | |
| 610 | 1 | |a вакуумно-дуговое осаждение | |
| 610 | 1 | |a нитридные покрытия | |
| 701 | 1 | |a Крысина |b О. В. | |
| 701 | 1 | |a Коваль |b Н. Н. |c специалист в области электроники |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831 |9 15926 | |
| 701 | 1 | |a Лопатин |b И. В. | |
| 701 | 1 | |a Шугуров |b В. В. | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |c (2009- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160426 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=23024945 | |
| 942 | |c CF | ||