Автоматизированная система зондовых измерений параметров плазмы разрядов низкого давления; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 11-3
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 11-3.— 2014.— [С. 78-82] |
|---|---|
| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | , , , |
| Zusammenfassung: | Заглавие с экрана Представлена автоматизированная система зондовых измерений параметров плазмы. При проектировании была заложена возможность подключения к системе как одиночных, так и двойных электрических зондов. В системе реализован режим ионной очистки зонда, необходимый для работы системы в агрессивных средах, а также предусмотрена возможность синхронизации времени измерений с источником питания разряда. Система производит измерения мгновенных значений тока и напряжения, максимальной амплитудой ± 300 мА и ± 300 В соответственно, с точностью ± 0.1 % по каждому из каналов. На зонд подается биполярное пилообразное напряжение с амплитудой от ± 10 до ± 300 В (дискретность регулировки 10 В) и частотой от 1 до 100 Гц (дискретность регулировки 1 Гц). Время регистрации одной зондовой характеристики в различных экспериментах может меняться от 10 мс до 100 с. Данная система использовалась для исследования несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом в импульсном режиме. Due to the dynamic development of technologies based on the use of plasma generated by low-pressure discharges, important question is the creation of automated measurements systems intended for operational research of stationary and pulsed plasma of low-pressure discharges, as well as for control and optimization of low-temperature plasma based processes. To solve such problems is well established traditional method of electrical probes. This method allows you to measure the basic parameters of plasma such as electron temperature, concentration of charged particles, plasma potential, and directional velocity of charged particles. In some cases, the probe measurements allow to find a particle velocity distribution function. Modern theories of probe measurements allow studying stationary, RF and microwave discharges in the pressure range from a few tenths of Pascal to atmospheric pressure. An automated Langmuir probe measurement system established for rapid measurements of key parameters of the plasma of the low-pressure discharges is created. A block diagram of the system is presented in Fig. 1. It can be used with both single and double electric probes, and also provides the ability to synchronize time of measurements with the power source of the discharge, which is important for measuring the plasma generated by low-pressure pulsed discharges. The system automatically measures the instantaneous values of current and voltage at the probe tip, the maximum amplitude of the signal is ± 300 mA and ± 300 V with an accuracy of ± 0,1% for each of the channels. Waveform of the signal on the probe is a bipolar sawtooth with an amplitude of ± 10 to ± 300 V (10 V discrete adjustment) and a frequency of 1 to 100 Hz (1 Hz discrete adjustment). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=23024943 |
| Format: | xMaterials Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647861 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 647861 | ||
| 005 | 20250217144902.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\13018 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\13010 | ||
| 090 | |a 647861 | ||
| 100 | |a 20160426a2014 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Автоматизированная система зондовых измерений параметров плазмы разрядов низкого давления |d Automated langmuir probe measurement system for investigation of plasma parameters of low-pressure discharge |f С. С. Ковальский [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 330 | |a Представлена автоматизированная система зондовых измерений параметров плазмы. При проектировании была заложена возможность подключения к системе как одиночных, так и двойных электрических зондов. В системе реализован режим ионной очистки зонда, необходимый для работы системы в агрессивных средах, а также предусмотрена возможность синхронизации времени измерений с источником питания разряда. Система производит измерения мгновенных значений тока и напряжения, максимальной амплитудой ± 300 мА и ± 300 В соответственно, с точностью ± 0.1 % по каждому из каналов. На зонд подается биполярное пилообразное напряжение с амплитудой от ± 10 до ± 300 В (дискретность регулировки 10 В) и частотой от 1 до 100 Гц (дискретность регулировки 1 Гц). Время регистрации одной зондовой характеристики в различных экспериментах может меняться от 10 мс до 100 с. Данная система использовалась для исследования несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом в импульсном режиме. | ||
| 330 | |a Due to the dynamic development of technologies based on the use of plasma generated by low-pressure discharges, important question is the creation of automated measurements systems intended for operational research of stationary and pulsed plasma of low-pressure discharges, as well as for control and optimization of low-temperature plasma based processes. To solve such problems is well established traditional method of electrical probes. This method allows you to measure the basic parameters of plasma such as electron temperature, concentration of charged particles, plasma potential, and directional velocity of charged particles. In some cases, the probe measurements allow to find a particle velocity distribution function. Modern theories of probe measurements allow studying stationary, RF and microwave discharges in the pressure range from a few tenths of Pascal to atmospheric pressure. An automated Langmuir probe measurement system established for rapid measurements of key parameters of the plasma of the low-pressure discharges is created. A block diagram of the system is presented in Fig. 1. It can be used with both single and double electric probes, and also provides the ability to synchronize time of measurements with the power source of the discharge, which is important for measuring the plasma generated by low-pressure pulsed discharges. The system automatically measures the instantaneous values of current and voltage at the probe tip, the maximum amplitude of the signal is ± 300 mA and ± 300 V with an accuracy of ± 0,1% for each of the channels. Waveform of the signal on the probe is a bipolar sawtooth with an amplitude of ± 10 to ± 300 V (10 V discrete adjustment) and a frequency of 1 to 100 Hz (1 Hz discrete adjustment). | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 57, № 11-3 |v [С. 78-82] |d 2014 | ||
| 510 | 1 | |a Automated langmuir probe measurement system for investigation of plasma parameters of low-pressure discharge |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a диагностика плазмы | |
| 610 | 1 | |a зонд ленгмюра | |
| 610 | 1 | |a тлеющий разряд | |
| 701 | 1 | |a Ковальский |b С. С. | |
| 701 | 1 | |a Денисов |b В. В. | |
| 701 | 1 | |a Коваль |b Н. Н. |c специалист в области электроники |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31831 |9 15926 | |
| 701 | 1 | |a Лопатин |b И. В. | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |c (2009- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20161017 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=23024943 | |
| 942 | |c CF | ||