Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2

Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2

Detalhes bibliográficos
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 55, № 11-2.— 2012.— [С. 235-240]
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики
Outros Autores: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Resumo:Заглавие с экрана
Приведены результаты комплексного экспериментального исследования характеристик дисковой магнетронной распылительной системы с оптимизированной конфигурацией магнитного поля, обеспечивающей осаждение оксинитридных покрытий титана и оптических характеристик газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза соединений Ti-O-N, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реактивного и плазмообразующего газа. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:russo
Publicado em: 2012
Assuntos:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
Acesso em linha:http://elibrary.ru/item.asp?id=18639672
Formato: Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647777

Registos relacionados

Registos relacionados