Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2

Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11-2.— 2012.— [С. 235-240]
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики
Altres autors:	Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Sumari:	Заглавие с экрана Приведены результаты комплексного экспериментального исследования характеристик дисковой магнетронной распылительной системы с оптимизированной конфигурацией магнитного поля, обеспечивающей осаждение оксинитридных покрытий титана и оптических характеристик газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза соединений Ti-O-N, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реактивного и плазмообразующего газа. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:	rus
Publicat:	2012
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ
Accés en línia:	http://elibrary.ru/item.asp?id=18639672
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647777

Ítems similars

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publicat: (2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2012)

Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Сунь Чжилэй
Publicat: (2017)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Мазурик Е. А.
Publicat: (2014)

Исследование поверхностных свойств покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
per: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Publicat: (2012)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2016)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Иванова Н. М.
Publicat: (2014)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 12
Publicat: (2014)

Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
per: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Publicat: (2014)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Publicat: (2013)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Сунь Чжилэй
Publicat: (Томск, 2020)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Сунь Чжилэй
Publicat: (Томск, 2020)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
per: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicat: (2009)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2015)

Исследование состава и структуры покрытий на основе диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Письма о материалах; Т. 7, № 2
Publicat: (2017)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicat: (2009)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Publicat: (2016)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2010)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicat: (Томск, 2016)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2009)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
per: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Publicat: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publicat: (Томск, 2017)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
per: Зелецов Д.
Publicat: (2019)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Publicat: (2016)

Исследование коррозионных свойств биосовместимых оксинитридных покрытий титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Проблемы сольватации и комплексообразования в растворах. От эффектов в растворах к новым материалам
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2015)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
per: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publicat: (Томск, 2017)

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Материаловедение; № 1
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2021)

Влияние физико-механических параметров пленок на основе оксидов и оксинитридов титана на клеточную адгезию; Современные техника и технологии; Т. 2
per: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publicat: (2013)

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Publicat: (2013)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Сунь Чжилэй
Publicat: (2014)

Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 1
per: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Publicat: (2014)

Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Савельев А. И.
Publicat: (2023)

Структурные характеристики оксидных и оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и оценка их гемосовместимых свойств in vitro; Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине
Publicat: (2016)

Исследование физических свойств гемосовместимых покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Publicat: (2012)

Синтез и характеризация тонких пленок высокоэнтропийной системы HfZrCeYMgO, полученной методом магнетронного распыления; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
per: Булах В. А. Влада Александровна
Publicat: (2023)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
per: Загузин И. Ю.
Publicat: (2018)