Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2 - Конищев М. Е. Максим Евгеньевич; Кузьмин О. С. Олег Станиславович; Морозова Н. С. Наталья Сергеевна; Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (2012, 2012)
Заглавие с экрана