Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11-2.— 2012.— [С. 235-240] |
|---|---|
| Institution som forfatter: | |
| Andre forfattere: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Приведены результаты комплексного экспериментального исследования характеристик дисковой магнетронной распылительной системы с оптимизированной конфигурацией магнитного поля, обеспечивающей осаждение оксинитридных покрытий титана и оптических характеристик газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза соединений Ti-O-N, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реактивного и плазмообразующего газа. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2012
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18639672 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647777 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 647777 | ||
| 005 | 20250217095725.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\12933 | ||
| 090 | |a 647777 | ||
| 100 | |a 20160422d2012 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления |f М. Е. Конищев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 13 назв.] | ||
| 330 | |a Приведены результаты комплексного экспериментального исследования характеристик дисковой магнетронной распылительной системы с оптимизированной конфигурацией магнитного поля, обеспечивающей осаждение оксинитридных покрытий титана и оптических характеристик газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза соединений Ti-O-N, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реактивного и плазмообразующего газа. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 55, № 11-2 |v [С. 235-240] |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 701 | 1 | |a Кузьмин |b О. С. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1961- |g Олег Станиславович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33925 |9 17498 | |
| 701 | 1 | |a Морозова |b Н. С. |c специалист в области материаловедения |c инженер-проектировщик Томского политехнического университета |f 1988- |g Наталья Сергеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28689 |9 13499 | |
| 701 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944-2021 |g Владимир Федорович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 |9 11697 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Физико-технический институт |b Кафедра экспериментальной физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 |9 27946 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160422 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=18639672 |
| 942 | |c CF | ||