Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11-2.— 2012.— [С. 235-240] |
|---|---|
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | , , , |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Приведены результаты комплексного экспериментального исследования характеристик дисковой магнетронной распылительной системы с оптимизированной конфигурацией магнитного поля, обеспечивающей осаждение оксинитридных покрытий титана и оптических характеристик газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза соединений Ti-O-N, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реактивного и плазмообразующего газа. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2012
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18639672 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647777 |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Приведены результаты комплексного экспериментального исследования характеристик дисковой магнетронной распылительной системы с оптимизированной конфигурацией магнитного поля, обеспечивающей осаждение оксинитридных покрытий титана и оптических характеристик газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза соединений Ti-O-N, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реактивного и плазмообразующего газа. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|