Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, & Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. (2012). Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2. 2012.
Cita Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, i Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2. 2012, 2012.
Cita MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Синтез нанокристаллических пленок оксидов и оксинитридов титана методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2. 2012, 2012.