Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 12

Մատենագիտական մանրամասներ
Parent link:	Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 12.— 2014.— [С. 21-25]
Համատեղ հեղինակ:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики
Այլ հեղինակներ:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Киселева Е. С. Евгения Сергеевна, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Эппле М. Маттиас
Ամփոփում:	Заглавие с экрана Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	2014
Խորագրեր:	труды учёных ТПУ электронный ресурс
Առցանց հասանելիություն:	http://elibrary.ru/item.asp?id=22527145
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647773