Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 12
| Parent link: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 12.— 2014.— [С. 21-25] |
|---|---|
| Співавтор: | |
| Інші автори: | , , , , , , , |
| Резюме: | Заглавие с экрана Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
2014
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://elibrary.ru/item.asp?id=22527145 |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647773 |