Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
| Parent link: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 12.— 2014.— [С. 21-25] |
|---|---|
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | , , , , , , , |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Pubblicazione: |
2014
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=22527145 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647773 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 647773 | ||
| 005 | 20250522160118.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\12929 | ||
| 090 | |a 647773 | ||
| 100 | |a 20160422d2014 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления |f Н. Н. Никитенков [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 11 назв.] | ||
| 330 | |a Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования |d 1995- | ||
| 463 | |t № 12 |v [С. 21-25] |d 2014 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Никитенков |b Н. Н. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1953- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364 |9 11325 | |
| 701 | 1 | |a Киселева |b Е. С. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1982- |g Евгения Сергеевна |y Томск |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31773 |9 15884 | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 701 | 1 | |a Сыпченко |b В. С. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат наук |f 1987- |g Владимир Сергеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28216 |9 13170 | |
| 701 | 1 | |a Никитенков |b А. Н. |c физик, гидрогеолог |c доцент Томского политехнического университета, кандидат геолого-минералогических наук |f 1983- |g Алексей Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27729 |9 12803 | |
| 701 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944-2021 |g Владимир Федорович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 |9 11697 | |
| 701 | 1 | |a Шулепов |b И. А. |c физик |c инженер-проектировщик Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1954- |g Иван Анисимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219 |9 13173 | |
| 701 | 1 | |a Эппле |b М. |g Маттиас | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Физико-технический институт |b Кафедра экспериментальной физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 |9 27946 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160422 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=22527145 |
| 942 | |c CF | ||