Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 12

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 12.— 2014.— [С. 21-25]
Müşterek Yazar:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики
Diğer Yazarlar:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Киселева Е. С. Евгения Сергеевна, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Эппле М. Маттиас
Özet:	Заглавие с экрана Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	2014
Konular:	труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Erişim:	http://elibrary.ru/item.asp?id=22527145
Materyal Türü:	Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647773

Diğer Bilgiler
Özet:	Заглавие с экрана Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса

Benzer Materyaller