Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995-
№ 12.— 2014.— [С. 21-25]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики
Other Authors: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Киселева Е. С. Евгения Сергеевна, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Шулепов И. А. Иван Анисимович, Эппле М. Маттиас
Summary:Заглавие с экрана
Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published: 2014
Subjects:
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=22527145
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647773
Description
Summary:Заглавие с экрана
Исследованы структура, морфология и свойства оксинитридных покрытий титана, осажденных методом импульсного реактивного магнетронного распыления. Использовались методы рентгеновской дитфрактометрии, рамановской спектроскопии, вторично-ионной масс-спектрометрии и растровой электронной микроскопии. Установлено, что структура, элементный и фазовый состав покрытий зависят от величины соотношения кислород/азот в составе реактивного газа, а также от величины отрицательного смещения на подложке. Увеличение доли азота приводит к уменьшению скорости распыления, уменьшению контактного угла смачивания, увеличению твердости и уменьшению модуля Юнга при использовании отрицательного смещения.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса

Similar Items