Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Киселева Е. С. Евгения Сергеевна, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, . . . Эппле М. Маттиас. (2014). Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. 2014.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Киселева Е. С. Евгения Сергеевна, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Шулепов И. А. Иван Анисимович, and Эппле М. Маттиас. Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. 2014, 2014.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. 2014, 2014.