Исследование влияния тока накала на параметры плазмы плазмогенератора «пинк»; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 9-2

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1958- Т. 58, № 9-2.— 2015.— [С. 166-170]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Ковальский С. С., Денисов В. В., Коваль Н. Н. Николай Николаевич, Лопатин И. В.
Summary:	Заглавие с экрана Плазмогенератор «ПИНК» - это хорошо зарекомендовавший себя источник газовой плазмы, который может быть использован, например, для азотирования или плазменно-ассистированного напыления функциональных покрытий. Для уменьшения вероятности появления катодного пятна на поверхности накаленного катода питание нитей накала осуществляют переменным током. В ходе работы было выявлено существенное влияние тока накала на величину тока разряда, что вызвано нестабильной эмиссией с поверхности катода. Исследовалось влияние параметров тока накаленного катода на параметры плазмы. Было показано, что параметры плазмы за период тока накала может изменяться более чем на 25 %. "PINK" is a source of nitrogen and argon plasma which can be used for nitriding and plasma assisted coating deposition. Power supply of the heated cathode is carried out by alternating current to reduce the probability of a cathodic spot initiation on a surface of the filament cathode. During the work it was revealed a significant influence of the heating current on the magnitude of discharge current, which is caused by unstable emission from the cathode surface. In this work influence of parameters of heating current on plasma parameters was investigated. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2015
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ несамостоятельный дуговой разряд диагностика плазмы накаленный катод
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=24993878
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647437