Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science

書誌詳細
Parent link:	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science.— 2016.— [012001, 6 p.]
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
その他の著者:	Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich, Linnik S. A. Stepan Andreevich, Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich, Shashev D. V., Nazarova G. Yu., Yurchenko V. I.
要約:	Title screen A new method of selective deposition of polycrystalline diamond has been developed and studied. The diamond coatings with a complex, predetermined geometry and resolution up to 5 [mu]m were obtained. A high density of polycrystallites in the coating area was reached (up to 32·10{7} pcs/cm{2}). The uniformity of the film reached 100%, and the degree of the surface contamination by parasitic crystals did not exceed 2%. The technology was based on the application of the standard photolithography with an addition of nanodiamond suspension into the photoresist that provided the creation of the centers of further nucleation in the areas which require further overgrowth. The films were deposited onto monocrystalline silicon substrates using the method of "hot filaments" in the CVD reactor. The properties of the coating and the impact of the nanodiamond suspension concentration in the photoresist were also studied. The potential use of the given method includes a high resolution, technological efficiency, and low labor costs compared to the standard methods (laser treatment, chemical etching in aggressive environments). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
言語:	英語
出版事項:	2016
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ осаждение поликристаллические пленки алмазные пленки алмазные поликристаллические пленки фотолитография наноалмазы зародышеобразование
オンライン･アクセス:	http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/116/1/012001 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/18925
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647092

類似資料

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2016)

The Effect of Doping on the Electrophysical Properties of Polycrystalline Diamond Films Deposited from an Abnormal Glow Discharge; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
出版事項: (2015)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
出版事項: (2015)

Electrical and photoelectric properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
出版事項: (2014)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys; Technical Physics; Vol. 63, iss. 2
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2018)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
著者:: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
出版事項: (2017)

Deposition of Polycrystalline Diamond Films with a Controlled Grain Size by Periodic Secondary Nucleation; Materials Today: Proceedings; Vol. 3, supl. 2 : Diamond and Carbon Materials - DCM 2014
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2016)

Влияние кобальта на адгезионную прочность поликристаллических алмазных покрытий на твердых сплавах WC-Co; Журнал технической физики; Т. 88, вып. 2
著者:: Линник С. А. Степан Андреевич
出版事項: (2018)

Electrophysical properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
出版事項: (2015)

Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching; Coatings; Vol. 7, iss. 9
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2017)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Линник С. А. Степан Андреевич
出版事項: (Томск, 2013)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Линник С. А. Степан Андреевич
出版事項: (Томск, 2013)

Фоторезистивные свойства аморфных и поликристаллических пленок широкозонных полупроводников
著者:: Ибрагимов В. Ю. Валентин Юсуфович
出版事項: (Ташкент, Фан, 1991)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Линник С. А. Степан Андреевич
出版事項: (Томск, 2013)

Дифракционная компьютерная оптика
出版事項: (Москва, Физматлит, 2007)

Heteroepitaxial Diamond Growth from the Gas Phase: Problems and Prospects (Review); Instruments and Experimental Techniques; Vol. 64, iss. 2
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2021)

The fabrication of patterned metallic master by photolithography and electroplating technique for making PDMS-stamp as a tool for drug delivery system preparation; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 511 : Perspective Materials of Constructional and Medical Purpose
出版事項: (2019)

Tribological and mechanical properties of diamond films synthesized with high methane concentration; International Journal of Refractory Metals and Hard Materials; Vol. 85
著者:: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
出版事項: (2019)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
著者:: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
出版事項: (2016)

Influence of Al-Si-N interlayer on residual stress of CVD diamond coatings; Surface and Coatings Technology; Vol. 357
著者:: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
出版事項: (2019)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2017)

Low resistance Cu[3]Ge compounds formation by the lowtemperature treatment of Cu/Ge system in atomic hydrogen; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
出版事項: (2016)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения: пер. с англ.
出版事項: (Москва, Мир, 1983)

Анализ преимуществ работы PDC - долот; Современные техника и технологии; Т. 2
著者:: Слепокуров А. А.
出版事項: (2013)

Возможности использования глинистых бокситов в технологии плотноспеченной алюмосиликатной керамики; Современные техника и технологии; Т. 2
著者:: Говорова Л. П. Лариса Павловна
出版事項: (2013)

Поликристаллические материалы на основе алмаза
出版事項: (Киев, Наук. думка, 1989)

Solid particle erosion of CVD diamond films deposited at different methane concentration; Wear; Vol. 494-495
出版事項: (2022)

Исследование физико-механических свойств алмазных покрытий; Современные материалы и технологии новых поколений
著者:: Кунашенко С. Е.
出版事項: (2019)

Численное исследование механического поведения композита "керамическое пористое покрытие - поликристаллическая стальная подложка"; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
出版事項: (2015)

Materials science and technologies of modern advanced materials : practical course
著者:: Shevchenko I. M.
出版事項: (Ставрополь, СКФУ, 2022)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
著者:: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
出版事項: (2016)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы: [монография]
著者:: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
出版事項: (Москва, Техномаш, 2008)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation; Materials Letters; Vol. 139
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2015)

Исследование деградации эффективности сбора заряда алмазных детекторов; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
著者:: Охотников В. В. Виталий Владимирович
出版事項: (2017)

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока; Письма в Журнал технической физики; Т. 38, вып. 6
著者:: Линник С. А. Степан Андреевич
出版事項: (2012)

Рост алмаза и графита из газовой фазы
著者:: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
出版事項: (Москва, Наука, 1977)

Нелинейные резонансы приконтактной фотоионизации в неоднородных наноструктурах; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 4
出版事項: (2004)

Электрические явления в тонких пленках: Избранные главы из книги "Thin film phenomena"; пер. с англ.
著者:: Чопра К. Л.
出版事項: (Москва, Мир, 1972)

Химия и технология ферритов: учебное пособие
著者:: Летюк Л. М. Леонид Михайлович
出版事項: (Ленинград, Химия, 1983)

Установка для измерения инфранизкочастотного шума в полупроводниковых газочувствительных структурах; Измерительная техника; № 7
著者:: Угрюмов Р. Б.
出版事項: (2004)