Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers

Dades bibliogràfiques
Parent link:	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science.— 2016.— [012001, 6 p.]
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Altres autors:	Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich, Linnik S. A. Stepan Andreevich, Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich, Shashev D. V., Nazarova G. Yu., Yurchenko V. I.
Sumari:	Title screen A new method of selective deposition of polycrystalline diamond has been developed and studied. The diamond coatings with a complex, predetermined geometry and resolution up to 5 [mu]m were obtained. A high density of polycrystallites in the coating area was reached (up to 32·10{7} pcs/cm{2}). The uniformity of the film reached 100%, and the degree of the surface contamination by parasitic crystals did not exceed 2%. The technology was based on the application of the standard photolithography with an addition of nanodiamond suspension into the photoresist that provided the creation of the centers of further nucleation in the areas which require further overgrowth. The films were deposited onto monocrystalline silicon substrates using the method of "hot filaments" in the CVD reactor. The properties of the coating and the impact of the nanodiamond suspension concentration in the photoresist were also studied. The potential use of the given method includes a high resolution, technological efficiency, and low labor costs compared to the standard methods (laser treatment, chemical etching in aggressive environments). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Publicat:	2016
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ осаждение поликристаллические пленки алмазные пленки алмазные поликристаллические пленки фотолитография наноалмазы зародышеобразование
Accés en línia:	http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/116/1/012001 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/18925
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647092

Ítems similars

The Effect of Doping on the Electrophysical Properties of Polycrystalline Diamond Films Deposited from an Abnormal Glow Discharge
Publicat: (2015)

Electrical and photoelectric properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge
Publicat: (2014)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties
Publicat: (2015)

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys
per: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicat: (2016)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper
per: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Publicat: (2017)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys
per: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicat: (2018)

Deposition of Polycrystalline Diamond Films with a Controlled Grain Size by Periodic Secondary Nucleation
per: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicat: (2016)

Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching
per: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicat: (2017)

Electrophysical properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge
Publicat: (2015)

Влияние кобальта на адгезионную прочность поликристаллических алмазных покрытий на твердых сплавах WC-Co
per: Линник С. А. Степан Андреевич
Publicat: (2018)

Solid particle erosion of CVD diamond films deposited at different methane concentration
Publicat: (2022)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Линник С. А. Степан Андреевич
Publicat: (Томск, 2013)

Фоторезистивные свойства аморфных и поликристаллических пленок широкозонных полупроводников
per: Ибрагимов В. Ю. Валентин Юсуфович
Publicat: (Ташкент, Фан, 1991)

Heteroepitaxial Diamond Growth from the Gas Phase: Problems and Prospects (Review)
per: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicat: (2021)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Линник С. А. Степан Андреевич
Publicat: (Томск, 2013)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
per: Линник С. А. Степан Андреевич
Publicat: (Томск, 2013)

Дифракционная компьютерная оптика
Publicat: (Москва, Физматлит, 2007)

Tribological and mechanical properties of diamond films synthesized with high methane concentration
per: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Publicat: (2019)

Influence of Al-Si-N interlayer on residual stress of CVD diamond coatings
per: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Publicat: (2019)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode
per: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicat: (2017)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper
per: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Publicat: (2016)

Metallurgical Coatings and Thin Films proceedings of the 17th International Conference on Metallurgical Coatings and 8th International Conference on Thin Films, San Diego, CA, U.S.A., April 2-6, 1990
Publicat: (New York, Elsevier applied science, 1990)

Поликристаллические материалы на основе алмаза
Publicat: (Киев, Наук. думка, 1989)

Анализ преимуществ работы PDC - долот
per: Слепокуров А. А.
Publicat: (2013)

Возможности использования глинистых бокситов в технологии плотноспеченной алюмосиликатной керамики
per: Говорова Л. П. Лариса Павловна
Publicat: (2013)

Исследование физико-механических свойств алмазных покрытий
per: Кунашенко С. Е.
Publicat: (2019)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1983)

Численное исследование механического поведения композита "керамическое пористое покрытие - поликристаллическая стальная подложка"
Publicat: (2015)

Электрические явления в тонких пленках Избранные главы из книги "Thin film phenomena" пер. с англ.
per: Чопра К. Л.
Publicat: (Москва, Мир, 1972)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы [монография]
per: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Publicat: (Москва, Техномаш, 2008)

Исследование деградации эффективности сбора заряда алмазных детекторов
per: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Publicat: (2017)

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока
per: Линник С. А. Степан Андреевич
Publicat: (2012)

Рост алмаза и графита из газовой фазы
per: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
Publicat: (Москва, Наука, 1977)

Нелинейные резонансы приконтактной фотоионизации в неоднородных наноструктурах
Publicat: (2004)

The fabrication of patterned metallic master by photolithography and electroplating technique for making PDMS-stamp as a tool for drug delivery system preparation
Publicat: (2019)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction
per: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Publicat: (2016)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology
per: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Publicat: (2016)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation
per: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicat: (2015)

Установка для измерения инфранизкочастотного шума в полупроводниковых газочувствительных структурах
per: Угрюмов Р. Б.
Publicat: (2004)

Химия и технология ферритов учебное пособие
per: Летюк Л. М. Леонид Михайлович
Publicat: (Ленинград, Химия, 1983)