Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science

Bibliografiske detaljer
Parent link:	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science.— 2016.— [012001, 6 p.]
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Andre forfattere:	Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich, Linnik S. A. Stepan Andreevich, Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich, Shashev D. V., Nazarova G. Yu., Yurchenko V. I.
Summary:	Title screen A new method of selective deposition of polycrystalline diamond has been developed and studied. The diamond coatings with a complex, predetermined geometry and resolution up to 5 [mu]m were obtained. A high density of polycrystallites in the coating area was reached (up to 32·10{7} pcs/cm{2}). The uniformity of the film reached 100%, and the degree of the surface contamination by parasitic crystals did not exceed 2%. The technology was based on the application of the standard photolithography with an addition of nanodiamond suspension into the photoresist that provided the creation of the centers of further nucleation in the areas which require further overgrowth. The films were deposited onto monocrystalline silicon substrates using the method of "hot filaments" in the CVD reactor. The properties of the coating and the impact of the nanodiamond suspension concentration in the photoresist were also studied. The potential use of the given method includes a high resolution, technological efficiency, and low labor costs compared to the standard methods (laser treatment, chemical etching in aggressive environments). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprog:	engelsk
Udgivet:	2016
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ осаждение поликристаллические пленки алмазные пленки алмазные поликристаллические пленки фотолитография наноалмазы зародышеобразование
Online adgang:	http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/116/1/012001 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/18925
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=647092

Lignende værker

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2016)

The Effect of Doping on the Electrophysical Properties of Polycrystalline Diamond Films Deposited from an Abnormal Glow Discharge; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Udgivet: (2015)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Udgivet: (2015)

Electrical and photoelectric properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Udgivet: (2014)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys; Technical Physics; Vol. 63, iss. 2
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2018)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
af: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Udgivet: (2017)

Deposition of Polycrystalline Diamond Films with a Controlled Grain Size by Periodic Secondary Nucleation; Materials Today: Proceedings; Vol. 3, supl. 2 : Diamond and Carbon Materials - DCM 2014
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2016)

Влияние кобальта на адгезионную прочность поликристаллических алмазных покрытий на твердых сплавах WC-Co; Журнал технической физики; Т. 88, вып. 2
af: Линник С. А. Степан Андреевич
Udgivet: (2018)

Electrophysical properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Udgivet: (2015)

Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching; Coatings; Vol. 7, iss. 9
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2017)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Линник С. А. Степан Андреевич
Udgivet: (Томск, 2013)

Фоторезистивные свойства аморфных и поликристаллических пленок широкозонных полупроводников
af: Ибрагимов В. Ю. Валентин Юсуфович
Udgivet: (Ташкент, Фан, 1991)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Линник С. А. Степан Андреевич
Udgivet: (Томск, 2013)

The fabrication of patterned metallic master by photolithography and electroplating technique for making PDMS-stamp as a tool for drug delivery system preparation; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 511 : Perspective Materials of Constructional and Medical Purpose
Udgivet: (2019)

Heteroepitaxial Diamond Growth from the Gas Phase: Problems and Prospects (Review); Instruments and Experimental Techniques; Vol. 64, iss. 2
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2021)

Tribological and mechanical properties of diamond films synthesized with high methane concentration; International Journal of Refractory Metals and Hard Materials; Vol. 85
af: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Udgivet: (2019)

Дифракционная компьютерная оптика
Udgivet: (Москва, Физматлит, 2007)

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Линник С. А. Степан Андреевич
Udgivet: (Томск, 2013)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

Influence of Al-Si-N interlayer on residual stress of CVD diamond coatings; Surface and Coatings Technology; Vol. 357
af: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Udgivet: (2019)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2017)

Low resistance Cu[3]Ge compounds formation by the lowtemperature treatment of Cu/Ge system in atomic hydrogen; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Udgivet: (2016)

Анализ преимуществ работы PDC - долот; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Слепокуров А. А.
Udgivet: (2013)

Возможности использования глинистых бокситов в технологии плотноспеченной алюмосиликатной керамики; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Говорова Л. П. Лариса Павловна
Udgivet: (2013)

Поликристаллические материалы на основе алмаза
Udgivet: (Киев, Наук. думка, 1989)

Solid particle erosion of CVD diamond films deposited at different methane concentration; Wear; Vol. 494-495
Udgivet: (2022)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения: пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Мир, 1983)

Исследование физико-механических свойств алмазных покрытий; Современные материалы и технологии новых поколений
af: Кунашенко С. Е.
Udgivet: (2019)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation; Materials Letters; Vol. 139
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2015)

Численное исследование механического поведения композита "керамическое пористое покрытие - поликристаллическая стальная подложка"; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Udgivet: (2015)

Materials science and technologies of modern advanced materials : practical course
af: Shevchenko I. M.
Udgivet: (Ставрополь, СКФУ, 2022)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы: [монография]
af: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Udgivet: (Москва, Техномаш, 2008)

Исследование деградации эффективности сбора заряда алмазных детекторов; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
af: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Udgivet: (2017)

Синтез алмазных пленок в сильноточном тлеющем разряде переменного тока; Письма в Журнал технической физики; Т. 38, вып. 6
af: Линник С. А. Степан Андреевич
Udgivet: (2012)

Рост алмаза и графита из газовой фазы
af: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
Udgivet: (Москва, Наука, 1977)

Электрические явления в тонких пленках: Избранные главы из книги "Thin film phenomena"; пер. с англ.
af: Чопра К. Л.
Udgivet: (Москва, Мир, 1972)

Нелинейные резонансы приконтактной фотоионизации в неоднородных наноструктурах; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 4
Udgivet: (2004)

Установка для измерения инфранизкочастотного шума в полупроводниковых газочувствительных структурах; Измерительная техника; № 7
af: Угрюмов Р. Б.
Udgivet: (2004)

Химия и технология ферритов: учебное пособие
af: Летюк Л. М. Леонид Михайлович
Udgivet: (Ленинград, Химия, 1983)