Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Известия вузов. Физика/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1958- V. 58, № 9-3.— 2015.— [P. 47-50]
1. Verfasser:	Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Körperschaft:	Томский политехнический университет
Weitere Verfasser:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Kiseleva D. V. Darjya Vasiljevna
Zusammenfassung:	Title screen This article presents original research of electrical and mechanical properties, phase structure of TiN thin films depending on deposition conditions. It is determined that optimal operation conditions are minimal value of «target-substrate» distance ( d s-t = 50 mm) and N 2 flow rate at 20-35 sccm. TiN films with (111)-crystallographic direction have a low level of microstrains. The minimal value of resistivity of TiN samples is 0.15 mOm•cm. TiN films can be used as barrier layers of integral microelectronic schemes for exclusion of diffusion of copper layer in insulator layer and subsequent corrosion. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2015
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ барьерные слои нитрид титана магнетронное распыление тонкие пленки удельное сопротивление
Online-Zugang:	http://elibrary.ru/item.asp?id=25225091
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646748

Ähnliche Einträge

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
von: Михневич К. С.
Veröffentlicht: (2015)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering; Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications
von: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Veröffentlicht: (2016)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Veröffentlicht: (2017)

Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
von: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Veröffentlicht: (2019)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
von: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Veröffentlicht: (2016)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Фу Сияо
Veröffentlicht: (2017)

Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 789 : Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation
Veröffentlicht: (2017)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Veröffentlicht: (2015)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Керимкулов Э. М.
Veröffentlicht: (2018)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
von: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Veröffentlicht: (2016)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Veröffentlicht: (2015)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Veröffentlicht: (2016)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Киселева Д. В.
Veröffentlicht: (2015)

Ceramics based on titanium nitride and silicon nitride sintered by SPS-method; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 93: Modern Technique and Technologies (MTT'2015)
von: Sivkov A. A. Aleksandr Anatolyevich
Veröffentlicht: (2015)

Formation and structural features of nitrogen-doped titanium dioxide thin films grown by reactive magnetron sputtering; Applied Surface Science; Vol. 534
Veröffentlicht: (2020)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Петраков Ю. В.
Veröffentlicht: (2017)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2020)

Spark plasma sintering of ceramics based on silicon nitride and titanium nitride; 11th International Forum on Strategic Technology (IFOST 2016); Pt. 1
Veröffentlicht: (2016)

Thermal stability and hydrogenation behavior of Zr-1Nb alloy with TiNx and Ti/TiNx coatings; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
von: Kashkarov E. B. Egor Borisovich
Veröffentlicht: (2016)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Veröffentlicht: (2015)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Veröffentlicht: (2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Veröffentlicht: (2012)

Effect of bias potential on the structure and distribution of elements in titanium-nitride coatings obtained by cathodic-arc deposition; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 10, iss. 3
Veröffentlicht: (2016)

Increasing Wear Resistance of Copper Friction Pair with Electrically-Conductive Tribological Cu-Mo-S Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 1783 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2016
Veröffentlicht: (2016)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
Veröffentlicht: (2009)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
von: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
Veröffentlicht: (2016)

Local structure of titanium nitride-based coatings; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 10, iss. 2
Veröffentlicht: (2016)

Коррозионная стойкость циркониевого сплава Zr-1Nb с CR/Mo покрытием при высокотемпературном окислении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Абдульменова А. В. Анастасия Владимировна
Veröffentlicht: (2022)

RF magnetron sputtering of a hydroxyapatite target: A comparison study on polytetrafluorethylene and titanium substrates; Applied Surface Science; Vol. 414
Veröffentlicht: (2017)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью; Современные проблемы машиностроения
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2022)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Андреева М. А.
Veröffentlicht: (2016)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
von: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Veröffentlicht: (2016)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
von: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Veröffentlicht: (2009)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Veröffentlicht: (2013)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
von: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Veröffentlicht: (2009)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering; Chalcogenide Letters; Vol. 12, iss. 9
von: An V. V. Vladimir Vilorievich
Veröffentlicht: (2015)

The use of magnetron sputtering for the deposition of thin titanium coatings on the surface of bioresorbable electrospun fibrous scaffolds for vascular tissue engineering: A pilot study; Applied Surface Science; Vol. 398
Veröffentlicht: (2017)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
von: Белый А. В.
Veröffentlicht: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Investigation of physical and mechanical properties of biocompatible coatings based on silver-hydroxyapatite deposited by radio-frequency magnetron sputtering; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Syromotina D. S.
Veröffentlicht: (2013)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Veröffentlicht: (2014)