The Deposition of Silicon-Carbon Coatings in Plasma Based Nonself-Sustained Arc Discharge with Heated Cathode
| Parent link: | Key Engineering Materials: Scientific Journal Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015).— 2016.— [P. 643-647] |
|---|---|
| সংস্থা লেখক: | |
| অন্যান্য লেখক: | , , , , |
| সংক্ষিপ্ত: | Title screen Silicon-carbon coatings on silicon substrates were deposited in plasma based nonself-sustained arc discharge with heated cathode by plasma polymerization of silicon organic agent such as polyphenyl methylsiloxane (PPhMS). Silicon-carbon coatings were deposited at PPhMS flow rate of 0.012 ml/min, argon pressure of 0-0.1 Pa, discharge current of 5-8 A, discharge voltage of 130-150 V, and filament current of 68 A. Bipolar pulsed bias voltage was supplied on the substrate during coating deposition. Surface morphology, hardness and elastic modulus of silicon-carbon films were investigated after the deposition. The film surface is very smooth with root-mean-square roughness of 0.579 nm. Maximum hardness of coatings was 11 GPa, and maximum elastic modulus was 142 GPa. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| প্রকাশিত: |
2016
|
| মালা: | Discharge and Plasma-Beam Technology |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.685.643 |
| বিন্যাস: | বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায় |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646506 |
অনুরূপ উপাদানগুলি
Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики
প্রকাশিত: (2021)
প্রকাশিত: (2021)
О возможности синтеза фуллеренов и алмазоподобных структур в струе углеродной плазмы
অনুযায়ী: Макарова А. Ф.
প্রকাশিত: (2013)
অনুযায়ী: Макарова А. Ф.
প্রকাশিত: (2013)
Зависимость механических свойств плёнок углерода от параметров источника питания
অনুযায়ী: Лазарев А. В.
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Лазарев А. В.
প্রকাশিত: (2016)
A Strategy for Alleviating Micro Arcing during HiPIMS Deposition of DLC Coatings
প্রকাশিত: (2020)
প্রকাশিত: (2020)
Multicapillary Carbon-Epoxy Tubes as a Cathode Material for a Pulsed Electron Accelerator
প্রকাশিত: (2016)
প্রকাশিত: (2016)
Heterogeneous Arc Discharge Plasma in a Magnetic Field
প্রকাশিত: (2017)
প্রকাশিত: (2017)
Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
অনুযায়ী: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
প্রকাশিত: (Москва, МИСИС, 2015)
অনুযায়ী: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
প্রকাশিত: (Москва, МИСИС, 2015)
Deposition of silicon–carbon coatings from the plasma of a non-self-sustained arc discharge with a heated cathode
প্রকাশিত: (2016)
প্রকাশিত: (2016)
Arc discharge plasma as a way to obtain silicon carbide
অনুযায়ী: Bolotnikova О. А.
প্রকাশিত: (2019)
অনুযায়ী: Bolotnikova О. А.
প্রকাশিত: (2019)
Low-energy high-current plasma immersion implantation of nitrogen ions in plasma of non-self-sustained arc discharge with thermionic and hollow cathodes
প্রকাশিত: (2018)
প্রকাশিত: (2018)
The Phase Composition and Structure of Silicon-Carbon Coatings
প্রকাশিত: (2019)
প্রকাশিত: (2019)
Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук Спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
প্রকাশিত: (Нальчик, 2013)
অনুযায়ী: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
প্রকাশিত: (Нальчик, 2013)
Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерода с нанокристалической структурой
প্রকাশিত: (2002)
প্রকাশিত: (2002)
Complex experimental approach to carbon-carbon composite defect detection by laser vibrometry and optical thermography
প্রকাশিত: (2019)
প্রকাশিত: (2019)
Tic-based coatings deposition using electric discharged plasma
প্রকাশিত: (2016)
প্রকাশিত: (2016)
Polyhedral Graphite Particles Ambient Air Direct Current Arc Plasma Synthesis Supported by Molybdenum Catalyst
প্রকাশিত: (2020)
প্রকাশিত: (2020)
Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering
অনুযায়ী: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
প্রকাশিত: (2019)
অনুযায়ী: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
প্রকাশিত: (2019)
Low-current hollow-cathode discharge in a trigger unit of a cold cathode thyratron
প্রকাশিত: (2015)
প্রকাশিত: (2015)
The Formation of Composite Ti-Al-N Coatings Using Filtered Vacuum Arc Deposition with Separate Cathodes
প্রকাশিত: (2017)
প্রকাশিত: (2017)
Nanocrystalline carbon coated alumina with enhanced phase stability at high temperatures
প্রকাশিত: (2017)
প্রকাশিত: (2017)
Application of Ti-Al Powder Cathodes for Vacuum-Arc Synthesis of Nitride Coatings
প্রকাশিত: (2019)
প্রকাশিত: (2019)
Исследование ультрадисперсного продукта синтеза системы "молибден - углерод" методом рентгеновской дифрактометрии
অনুযায়ী: Кононенко П. Н.
প্রকাশিত: (2019)
অনুযায়ী: Кононенко П. Н.
প্রকাশিত: (2019)
The Chemistry of the Carbon Compounds
অনুযায়ী: Richter V. Victor
প্রকাশিত: (Amsterdam, Elsevier Ltd, 1939)
অনুযায়ী: Richter V. Victor
প্রকাশিত: (Amsterdam, Elsevier Ltd, 1939)
Controlling the Specimen Surface Temperature During Irradiation With a Submillisecond Electron Beam Produced by a Plasma-Cathode Electron Source
প্রকাশিত: (2021)
প্রকাশিত: (2021)
Stripping of carbon coatings in radio-frequency inductively coupled plasma of H2/Ar
প্রকাশিত: (2021)
প্রকাশিত: (2021)
Carbon saturation of silicon target under the action of pulsed high-intensity ion beam
অনুযায়ী: Aktaev N. E. Nurken Erbolatovich
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Aktaev N. E. Nurken Erbolatovich
প্রকাশিত: (2016)
Ion trajectories calculation for negatively biased needle cathode in volume discharge plasma
প্রকাশিত: (2014)
প্রকাশিত: (2014)
Электродуговой синтез порошков боридов и карбидов хрома безвакуумным методом и изготовление объемных материалов на их основе диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 2.6.5
অনুযায়ী: Поваляев П. В. Павел Вадимович
প্রকাশিত: (Томск, 2025)
অনুযায়ী: Поваляев П. В. Павел Вадимович
প্রকাশিত: (Томск, 2025)
Laws of the oxidation of carbon isotopes in plasma processes under magnetic field
প্রকাশিত: (2016)
প্রকাশিত: (2016)
Электродуговой синтез порошков боридов и карбидов хрома безвакуумным методом и изготовление объемных материалов на их основе автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 2.6.5
অনুযায়ী: Поваляев П. В. Павел Вадимович
প্রকাশিত: (Томск, 2025)
অনুযায়ী: Поваляев П. В. Павел Вадимович
প্রকাশিত: (Томск, 2025)
Анализ энергетических характеристик процесса получения ультрадисперсных материалов в атмосферной электродуговой плазме состава "молибден-углерод"
অনুযায়ী: Пак А. Я. Александр Яковлевич
প্রকাশিত: (2019)
অনুযায়ী: Пак А. Я. Александр Яковлевич
প্রকাশিত: (2019)
Electric arc synthesis of titanium carbide particles
অনুযায়ী: Smovzh D.
প্রকাশিত: (2017)
অনুযায়ী: Smovzh D.
প্রকাশিত: (2017)
Modeling of carbon penetration into silicon structure under the action of pulsed high-intensity ion beam
অনুযায়ী: Aktaev N. E. Nurken Erbolatovich
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Aktaev N. E. Nurken Erbolatovich
প্রকাশিত: (2016)
Термохимические катоды
প্রকাশিত: (Новосибирск, ИТФ, 1985)
প্রকাশিত: (Новосибирск, ИТФ, 1985)
Carbon and Oxygen Atoms Distribution along Low-Temperature Plasma Torch in the Magnetic Field
প্রকাশিত: (2015)
প্রকাশিত: (2015)
A novel approach of waste tires rubber utilization via ambient air direct current arc discharge plasma
প্রকাশিত: (2022)
প্রকাশিত: (2022)
Chain plasmochemical decomposition process of carbon tetrachloride
প্রকাশিত: (2004)
প্রকাশিত: (2004)
Carbon. The Future Material for Advanced Technology Applications
প্রকাশিত: (Berlin, Springer-Verlag, 2006)
প্রকাশিত: (Berlin, Springer-Verlag, 2006)
Preparation of Betulone Via Betulin Oxidation Over Ru Nanoparticles Deposited on Graphitic Carbon Nitride
প্রকাশিত: (2019)
প্রকাশিত: (2019)
Energy Spectrum of an Electron Beam Outputted into Ambient Air on an Electron Accelerator with a Grid Plasma Cathode
প্রকাশিত: (2018)
প্রকাশিত: (2018)