Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Այլ հեղինակներ:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Ամփոփում:	опубл. 27.05.09 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Հրապարակվել է:
Խորագրեր:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Առցանց հասանելիություն:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646381

Նմանատիպ նյութեր

Установка для получения поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Հրապարակվել է: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Հրապարակվել է: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Հրապարակվել է: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Հրապարակվել է: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Հրապարակվել է: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Հրապարակվել է: ()

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления
Հրապարակվել է: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (2010)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
‌: Андреев А. А. Артем Андреевич
Հրապարակվել է: (2007)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (Томск, 2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (Томск, 2010)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Հրապարակվել է: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
‌: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Հրապարակվել է: (2013)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Հրապարակվել է: (2009)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (2009)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
‌: Цивинская Ю. С.
Հրապարակվել է: (2012)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
‌: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Հրապարակվել է: (2011)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
‌: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Հրապարակվել է: ()

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током
Հրապարակվել է: (2012)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей
‌: Лапатин Л. Г.
Հրապարակվել է: (2009)

Способ получения диоксида кремния
‌: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Հրապարակվել է: ()

Способ получения особо чистого кремния
‌: Андреев А. А. Артем Андреевич
Հրապարակվել է: ()

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation
Հրապարակվել է: (2014)

Характерные особенности деформирования поликристаллического дуралюмина D1
Հրապարակվել է: (2009)

Установка для получения CO[2]-экстрактов
Հրապարակվել է: ()

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams
Հրապարակվել է: (2020)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
‌: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Հրապարակվել է: ()

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
‌: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Հրապարակվել է: (2012)

Cпособ получения синтетического диоксида кремния высокой чистоты № 2020133873 заявлено: 15.10.2020 опубликовано: 17.05.2021
Հրապարակվել է: ()

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана
‌: Ким А. Б. Алексей Богович
Հրապարակվել է: (2014)

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния
‌: Карелин В. А. Владимир Александрович
Հրապարակվել է: (2005)

Электролизер
Հրապարակվել է: ()