Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Summary:	опубл. 27.05.09 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Language:	Russian
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646381

Similar Items

Установка для получения поликристаллического кремния
Published: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Published: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Published: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Published: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Published: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Published: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Published: ()

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Published: (2009)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (Томск, 2010)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (Томск, 2010)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
by: Андреев А. А. Артем Андреевич
Published: (2007)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Published: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Published: (2009)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Published: (2009)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
by: Цивинская Ю. С.
Published: (2012)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
by: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Published: ()

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2011)

Способ получения диоксида кремния
by: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Published: ()

Способ получения особо чистого кремния
by: Андреев А. А. Артем Андреевич
Published: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
by: Лапатин Л. Г.
Published: (2009)

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
Published: (2012)

Установка для получения CO[2]-экстрактов
Published: ()

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Published: (2014)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
by: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Published: ()

Характерные особенности деформирования поликристаллического дуралюмина D1; Современные техника и технологии; Т. 2
Published: (2009)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Published: (2020)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
by: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Published: (2012)

Cпособ получения синтетического диоксида кремния высокой чистоты: № 2020133873; заявлено: 15.10.2020; опубликовано: 17.05.2021
Published: ()

Электролизер
Published: ()

Исследование влияния механической активации сырья на свойства синтезируемого высокочистого карбида кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
by: Карелин В. А. Владимир Александрович
Published: (2005)

Состав смеси для получения теплоизоляционного материала
by: Лотов В. А. Василий Агафонович
Published: ()