Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Bibliografische gegevens
Coauteur:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Andere auteurs:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Samenvatting:	опубл. 27.05.09 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:
Onderwerpen:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Online toegang:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf
Formaat:	Elektronisch Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646381

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf