Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Détails bibliographiques
Collectivité auteur:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Autres auteurs:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Résumé:	опубл. 27.05.09 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Langue:	russe
Publié:
Sujets:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения стержни поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Accès en ligne:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf
Format:	Électronique Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646381

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf