Установка для получения стержней поликристаллического кремния

Podrobná bibliografie
Korporativní autor: Горно-химический комбинат (ГХК)
Další autoři: Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Стенин А. А. Александр Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович
Shrnutí:опубл. 27.05.09
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Jazyk:ruština
Vydáno:
Témata:
On-line přístup:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf
Médium: Elektronický zdroj Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646381

MARC

LEADER 00000nlm0a2200000 4500
001 646381
005 20231214154907.0
029 1 0 |a RU  |b 2357024  |c Пат.  |d МПК C 30 B 28/14  |d МПК C 30 B 29/06  |d МПК C 01 B 33/035 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\11517 
035 |a RU\TPU\network\11516 
039 0 |a RU  |b 2008110766/15  |c 20080320 
090 |a 646381 
100 |a 20160226j20090527k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a k 000zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Установка для получения стержней поликристаллического кремния  |f П. М. Гаврилов [и др.]  |g Горно-химический комбинат (ГХК) 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a опубл. 27.05.09 
330 |a Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов. 
610 1 |a патенты 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a изобретения 
610 1 |a стержни 
610 1 |a поликристаллический кремний 
610 1 |a полупроводниковые материалы 
610 1 |a осаждение 
610 1 |a водородное восстановление 
610 1 |a хлорсиланы 
701 1 |a Гаврилов  |b П. М.  |c специалист в области атомной энергетики  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1960-  |g Петр Михайлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697  |9 12771 
701 1 |a Ревенко  |b Ю. А.  |g Юрий Александрович 
701 1 |a Бараков  |b Б. А.  |g Борис Николаевич 
701 1 |a Прочанкин  |b А. П.  |g Александр Петрович 
701 1 |a Муравицкий  |b С. А.  |g Степан Александрович 
701 1 |a Стенин  |b А. А.  |g Александр Александрович 
701 1 |a Никулин  |b А. И.  |g Анатолий Иванович 
712 0 2 |a Горно-химический комбинат (ГХК)  |c (Железногорск)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\16911 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20120201 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160229  |g RCR 
856 4 |u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.05.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/357/024/document.pdf 
942 |c CF