Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления - Громов Г. Н. Геннадий Николаевич; Болгов М. В. Михаил Викторович; Муравицкий С, А. Степан Александрович; Гаврилов П. М. Петр Михайлович; Ревенко Ю. А. Юрий Александрович; Левинский А. И. Александр Иванович; Гущин В. В. Владимир Васильевич; Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
опубл. 27.03.09