Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Summary: | опубл. 20.12.08 Изобретение относится к химической промышленности, а конкретно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана и переработке кубового остатка, содержащего полисиланхлориды. |
| Published: |
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.12.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/341/455/document.pdf |
| Format: | Electronic Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646367 |
| Summary: | опубл. 20.12.08 Изобретение относится к химической промышленности, а конкретно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана и переработке кубового остатка, содержащего полисиланхлориды. |
|---|