APA (7th ed.) Citation

Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, & Юрьева А. В. Алена Викторовна. (2014). Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3. 2014.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, and Юрьева А. В. Алена Викторовна. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3. 2014, 2014.

MLA (9th ed.) Citation

Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, et al. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3. 2014, 2014.