Модель для расчета производительности технологий осаждения покрытий с помощью мощных импульсных пучков заряженных частиц; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11 (2)

Модель для расчета производительности технологий осаждения покрытий с помощью мощных импульсных пучков заряженных частиц; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11 (2)

Detalhes bibliográficos
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 142-147]
Autor principal: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Outros Autores: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Resumo:Заглавие с экрана
Разработана численная модель, позволяющая проводить расчет темпа осаждения покрытий при использовании импульсных пучков заряженных частиц с начальной энергией 10-1000 кэВ и плотностью мощности 10{6}-10{9} Вт/см{2}. Она основывается на предположении, что поток осаждаемых частиц создается за счет тепловой эрозии облучаемой поверхности мишени. С помощью этой модели получены зависимости темпа роста покрытий и технологической производительности осаждения от параметров пучков. Удовлетворительное совпадение расчетных и экспериментальных результатов подтверждает ее корректность.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:russo
Publicado em: 2011
Assuntos:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
моделирование
пучки
заряженные частицы
осаждение
покрытия
Acesso em linha:http://elibrary.ru/item.asp?id=17394878
Formato: Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646184

Registos relacionados

Registos relacionados