Модель для расчета производительности технологий осаждения покрытий с помощью мощных импульсных пучков заряженных частиц

Модель для расчета производительности технологий осаждения покрытий с помощью мощных импульсных пучков заряженных частиц

Podrobná bibliografie
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 142-147]
Hlavní autor: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Další autoři: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Shrnutí:Заглавие с экрана
Разработана численная модель, позволяющая проводить расчет темпа осаждения покрытий при использовании импульсных пучков заряженных частиц с начальной энергией 10-1000 кэВ и плотностью мощности 10{6}-10{9} Вт/см{2}. Она основывается на предположении, что поток осаждаемых частиц создается за счет тепловой эрозии облучаемой поверхности мишени. С помощью этой модели получены зависимости темпа роста покрытий и технологической производительности осаждения от параметров пучков. Удовлетворительное совпадение расчетных и экспериментальных результатов подтверждает ее корректность.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Jazyk:ruština
Vydáno: 2011
Témata:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
моделирование
пучки
заряженные частицы
осаждение
покрытия
On-line přístup:http://elibrary.ru/item.asp?id=17394878
Médium: Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646184

Podobné jednotky

Podobné jednotky