Модель для расчета производительности технологий осаждения покрытий с помощью мощных импульсных пучков заряженных частиц; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11 (2)
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 142-147] |
|---|---|
| Auteur principal: | |
| Autres auteurs: | |
| Résumé: | Заглавие с экрана Разработана численная модель, позволяющая проводить расчет темпа осаждения покрытий при использовании импульсных пучков заряженных частиц с начальной энергией 10-1000 кэВ и плотностью мощности 10{6}-10{9} Вт/см{2}. Она основывается на предположении, что поток осаждаемых частиц создается за счет тепловой эрозии облучаемой поверхности мишени. С помощью этой модели получены зависимости темпа роста покрытий и технологической производительности осаждения от параметров пучков. Удовлетворительное совпадение расчетных и экспериментальных результатов подтверждает ее корректность. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2011
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://elibrary.ru/item.asp?id=17394878 |
| Format: | Électronique Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646184 |