Модель для расчета производительности технологий осаждения покрытий с помощью мощных импульсных пучков заряженных частиц
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 142-147] |
|---|---|
| 第一著者: | |
| その他の著者: | |
| 要約: | Заглавие с экрана Разработана численная модель, позволяющая проводить расчет темпа осаждения покрытий при использовании импульсных пучков заряженных частиц с начальной энергией 10-1000 кэВ и плотностью мощности 10{6}-10{9} Вт/см{2}. Она основывается на предположении, что поток осаждаемых частиц создается за счет тепловой эрозии облучаемой поверхности мишени. С помощью этой модели получены зависимости темпа роста покрытий и технологической производительности осаждения от параметров пучков. Удовлетворительное совпадение расчетных и экспериментальных результатов подтверждает ее корректность. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2011
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://elibrary.ru/item.asp?id=17394878 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646184 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 646184 | ||
| 005 | 20250402103455.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\11318 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\11310 | ||
| 090 | |a 646184 | ||
| 100 | |a 20160215d2011 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Модель для расчета производительности технологий осаждения покрытий с помощью мощных импульсных пучков заряженных частиц |f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 147 (13 назв.)] | ||
| 330 | |a Разработана численная модель, позволяющая проводить расчет темпа осаждения покрытий при использовании импульсных пучков заряженных частиц с начальной энергией 10-1000 кэВ и плотностью мощности 10{6}-10{9} Вт/см{2}. Она основывается на предположении, что поток осаждаемых частиц создается за счет тепловой эрозии облучаемой поверхности мишени. С помощью этой модели получены зависимости темпа роста покрытий и технологической производительности осаждения от параметров пучков. Удовлетворительное совпадение расчетных и экспериментальных результатов подтверждает ее корректность. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 54, № 11 (2) |v [С. 142-147] |d 2011 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a моделирование | |
| 610 | 1 | |a пучки | |
| 610 | 1 | |a заряженные частицы | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 700 | 1 | |a Блейхер |b Г. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1961- |g Галина Алексеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |9 13681 | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160215 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=17394878 |
| 942 | |c CF | ||