Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, & Sadykova I. (2016). Energy and substance transfer in magnetron sputtering systems with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 124. 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.11.009
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, und Sadykova I. Energy and Substance Transfer in Magnetron Sputtering Systems with Liquid-phase Target; Vacuum; Vol. 124. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.11.009.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Energy and Substance Transfer in Magnetron Sputtering Systems with Liquid-phase Target; Vacuum; Vol. 124. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.11.009.