Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, & Sadykova I. (2016). Energy and substance transfer in magnetron sputtering systems with liquid-phase target. 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.11.009
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, and Sadykova I. Energy and Substance Transfer in Magnetron Sputtering Systems with Liquid-phase Target. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.11.009.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Energy and Substance Transfer in Magnetron Sputtering Systems with Liquid-phase Target. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.11.009.