Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Журнал технической физики.— , 1931- Т. 85, вып. 12.— 2015.— [С. 56-61]
Hovedforfatter:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Andre forfattere:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
Summary:	Заглавие с экрана Проанализированы возможности плазмы магнетронных распылительных систем разных видов, в том числе импульсных и с жидкофазными мишенями, для создания интенсивной эмиссии атомов и высокоскоростного осаждения покрытий. Для этого разработана математическая модель тепловых и эрозионных процессов в мишени на основе уравнений теплопроводности с учетом фазовых переходов первого рода. С ее помощью выявлены параметры магнетронов, при которых происходит интенсивное испарение атомов с поверхности мишеней. Показано, что его присутствие приводит к увеличению скорости роста металлических покрытий в 10−100 раз по сравнению с обычными магнетронными системами, основанными только на столкновительном распылении. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprog:	russisk
Udgivet:	2015
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное осаждение покрытия испарения мишени
Online adgang:	http://journals.ioffe.ru/jtf/2015/12/page-56.html.ru http://elibrary.ru/item.asp?id=24196266
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645799

Lignende værker

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2020)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2018)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
af: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Udgivet: (2022)

Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S
Udgivet: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
af: Рогожников Д. С.
Udgivet: (2016)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂
Udgivet: (2013)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана
af: Михневич К. С.
Udgivet: (2015)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
Udgivet: (2019)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Magnetron deposition of coatings with evaporation of the target
af: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Udgivet: (2015)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Udgivet: (2019)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2020)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
af: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Udgivet: (Томск, 2025)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering
Udgivet: (2019)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion
Udgivet: (2016)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
af: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Udgivet: (Томск, 2025)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
af: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2022)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Udgivet: (2019)

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий
af: Майер Д. Н.
Udgivet: (2012)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Udgivet: (2016)

Влияние нанокомпозитных покрытий 12Х18Н10Т на триботехнические свойства металлополимерной пары трения "Сталь 38ХН3МФА - полиамид ПА-66"
Udgivet: (2006)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления
af: Рунц А. А.
Udgivet: (2022)

Магнетронное осаждение твёрдых и износостойких покрытий
Udgivet: (2024)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate
Udgivet: (2016)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Udgivet: (2018)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
af: Ершов А. В.
Udgivet: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
af: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
Udgivet: (Томск, 2022)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition
Udgivet: (2021)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
af: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
Udgivet: (Томск, 2022)

Формирование градиентных покрытий на основе, Ti-Al-Cr-B-N при ионно-магнетронном распылении композиционных мишеней
Udgivet: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Исследование физико-механических свойств защитных покрытий систем Al-Si-N и Zr-Y-O, сформированных в условиях импульсного магнетронного осаждения
af: Ду Яфэн
Udgivet: (2021)

Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets
Udgivet: (2018)

Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения
af: Калиева Р. А.
Udgivet: (2017)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов
af: Марьин П. В. Павел Владимирович
Udgivet: (2021)