Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12

書誌詳細
Parent link:	Журнал технической физики.— , 1931- Т. 85, вып. 12.— 2015.— [С. 56-61]
第一著者:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
その他の著者:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
要約:	Заглавие с экрана Проанализированы возможности плазмы магнетронных распылительных систем разных видов, в том числе импульсных и с жидкофазными мишенями, для создания интенсивной эмиссии атомов и высокоскоростного осаждения покрытий. Для этого разработана математическая модель тепловых и эрозионных процессов в мишени на основе уравнений теплопроводности с учетом фазовых переходов первого рода. С ее помощью выявлены параметры магнетронов, при которых происходит интенсивное испарение атомов с поверхности мишеней. Показано, что его присутствие приводит к увеличению скорости роста металлических покрытий в 10−100 раз по сравнению с обычными магнетронными системами, основанными только на столкновительном распылении. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
言語:	ロシア語
出版事項:	2015
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное осаждение покрытия испарения мишени
オンライン･アクセス:	http://journals.ioffe.ru/jtf/2015/12/page-56.html.ru http://elibrary.ru/item.asp?id=24196266
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645799

類似資料

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
著者:: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
出版事項: (2020)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
著者:: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
出版事項: (2018)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
出版事項: (2022)

Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S; Высокие технологии в современной науке и технике
出版事項: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Рогожников Д. С.
出版事項: (2016)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
出版事項: (2013)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版事項: (Томск, 2018)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
出版事項: (2019)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版事項: (Томск, 2018)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
著者:: Михневич К. С.
出版事項: (2015)

Magnetron deposition of coatings with evaporation of the target; Technical Physics; Vol. 60, №12
著者:: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
出版事項: (2015)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
出版事項: (2019)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
著者:: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2022)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
著者:: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
出版事項: (2020)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
出版事項: (2019)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
著者:: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
出版事項: (Томск, 2025)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
著者:: Ершов А. В.
出版事項: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
出版事項: (2016)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6
出版事項: (2016)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
著者:: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
出版事項: (Томск, 2025)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版事項: (Томск, 2017)

Влияние нанокомпозитных покрытий 12Х18Н10Т на триботехнические свойства металлополимерной пары трения "Сталь 38ХН3МФА - полиамид ПА-66"; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 3
出版事項: (2006)

Магнетронное распыление как один из методов нанесения покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Майер Д. Н.
出版事項: (2012)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
出版事項: (2019)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления; Современные проблемы машиностроения
著者:: Рунц А. А.
出版事項: (2022)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
著者:: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
出版事項: (Томск, 2022)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
出版事項: (2016)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition; Vacuum; Vol. 191
出版事項: (2021)

Исследование влияния состава распыляемой мишени и рабочего газа на свойства кальций-фосфатных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
著者:: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
出版事項: (Томск, 2022)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
著者:: Шпакова Н. Ю.
出版事項: (2009)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2017)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
出版事項: (2018)

Формирование градиентных покрытий на основе, Ti-Al-Cr-B-N при ионно-магнетронном распылении композиционных мишеней; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
出版事項: (2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2017)

Исследование физико-механических свойств защитных покрытий систем Al-Si-N и Zr-Y-O, сформированных в условиях импульсного магнетронного осаждения; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов; Т. 1
著者:: Ду Яфэн
出版事項: (2021)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Юрьева А. В. Алена Викторовна
出版事項: (Томск, 2017)

Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Калиева Р. А.
出版事項: (2017)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
著者:: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2018)

Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects". 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
出版事項: (2018)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
著者:: Марьин П. В. Павел Владимирович
出版事項: (2021)