Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
| Parent link: | Журнал технической физики.— , 1931- Т. 85, вып. 12.— 2015.— [С. 56-61] |
|---|---|
| Glavni avtor: | |
| Korporativna značnica: | |
| Drugi avtorji: | , |
| Izvleček: | Заглавие с экрана Проанализированы возможности плазмы магнетронных распылительных систем разных видов, в том числе импульсных и с жидкофазными мишенями, для создания интенсивной эмиссии атомов и высокоскоростного осаждения покрытий. Для этого разработана математическая модель тепловых и эрозионных процессов в мишени на основе уравнений теплопроводности с учетом фазовых переходов первого рода. С ее помощью выявлены параметры магнетронов, при которых происходит интенсивное испарение атомов с поверхности мишеней. Показано, что его присутствие приводит к увеличению скорости роста металлических покрытий в 10−100 раз по сравнению с обычными магнетронными системами, основанными только на столкновительном распылении. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
2015
|
| Teme: | |
| Online dostop: | http://journals.ioffe.ru/jtf/2015/12/page-56.html.ru http://elibrary.ru/item.asp?id=24196266 |
| Format: | Elektronski Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645799 |