Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
| Parent link: | Журнал технической физики.— , 1931- Т. 85, вып. 12.— 2015.— [С. 56-61] |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلف مشترك: | |
| مؤلفون آخرون: | , |
| الملخص: | Заглавие с экрана Проанализированы возможности плазмы магнетронных распылительных систем разных видов, в том числе импульсных и с жидкофазными мишенями, для создания интенсивной эмиссии атомов и высокоскоростного осаждения покрытий. Для этого разработана математическая модель тепловых и эрозионных процессов в мишени на основе уравнений теплопроводности с учетом фазовых переходов первого рода. С ее помощью выявлены параметры магнетронов, при которых происходит интенсивное испарение атомов с поверхности мишеней. Показано, что его присутствие приводит к увеличению скорости роста металлических покрытий в 10−100 раз по сравнению с обычными магнетронными системами, основанными только на столкновительном распылении. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
2015
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://journals.ioffe.ru/jtf/2015/12/page-56.html.ru http://elibrary.ru/item.asp?id=24196266 |
| التنسيق: | الكتروني فصل الكتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645799 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 645799 | ||
| 005 | 20260715071709.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\10903 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\10854 | ||
| 090 | |a 645799 | ||
| 100 | |a 20160125d2015 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени |f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 61 (12 назв.)] | ||
| 330 | |a Проанализированы возможности плазмы магнетронных распылительных систем разных видов, в том числе импульсных и с жидкофазными мишенями, для создания интенсивной эмиссии атомов и высокоскоростного осаждения покрытий. Для этого разработана математическая модель тепловых и эрозионных процессов в мишени на основе уравнений теплопроводности с учетом фазовых переходов первого рода. С ее помощью выявлены параметры магнетронов, при которых происходит интенсивное испарение атомов с поверхности мишеней. Показано, что его присутствие приводит к увеличению скорости роста металлических покрытий в 10−100 раз по сравнению с обычными магнетронными системами, основанными только на столкновительном распылении. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Журнал технической физики |d 1931- | ||
| 463 | |t Т. 85, вып. 12 |v [С. 56-61] |d 2015 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a магнетронное осаждение | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a испарения | |
| 610 | 1 | |a мишени | |
| 700 | 1 | |a Блейхер |b Г. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1961- |g Галина Алексеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |9 13681 | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Юрьева |b А. В. |c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий |c ассистент Томского политехнического университета |f 1983- |g Алена Викторовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Томский политехнический университет |c 1991- |7 ca |8 rus |9 26305 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160212 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |u http://journals.ioffe.ru/jtf/2015/12/page-56.html.ru | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=24196266 | |
| 942 | |c CF | ||