Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, & Юрьева А. В. Алена Викторовна. (2015). Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12. 2015.
Chicagoスタイル(17版)引用形式Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, , Юрьева А. В. Алена Викторовна. Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12. 2015, 2015.
MLA(9版)引用形式Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, et al. Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12. 2015, 2015.
警告: この引用は必ずしも正確ではありません.