Влияние состава плазмы на механические напряжения в покрытии из нитрида титана

Библиографические подробности
Источник:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 317-321]
Главный автор: Шанин С. А. Сергей Александрович
Автор-организация: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Другие авторы: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Примечания:Заглавие с экрана
Осуществлен расчет НДС системы подложка - покрытие при осаждении из плазмы титана и азота. Показано влияние концентрации осаждаемых элементов у поверхности растущего покрытия на распределения напряжений вдоль радиуса, а также на средние значения напряжений. Определена зависимость глубины проникновения осаждаемых элементов в подложку от их концентрации у поверхности покрытия.
The work was done calculation of VAT system "substrate-coating" in the deposition of titanium and nitrogen plasma. Shows the influence the concentration of elements deposited on the surface of the growing coating on the stress distribution along the radius, as well as on the average voltage. The dependence of the depth of penetration into the substrate elements deposited on their concentrations at the surface of the coating.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Язык:русский
Опубликовано: 2015
Предметы:
Online-ссылка:http://elibrary.ru/item.asp?id=24449628
Формат: Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645735

Схожие документы