Влияние состава плазмы на механические напряжения в покрытии из нитрида титана; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 317-321] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Осуществлен расчет НДС системы подложка - покрытие при осаждении из плазмы титана и азота. Показано влияние концентрации осаждаемых элементов у поверхности растущего покрытия на распределения напряжений вдоль радиуса, а также на средние значения напряжений. Определена зависимость глубины проникновения осаждаемых элементов в подложку от их концентрации у поверхности покрытия. The work was done calculation of VAT system "substrate-coating" in the deposition of titanium and nitrogen plasma. Shows the influence the concentration of elements deposited on the surface of the growing coating on the stress distribution along the radius, as well as on the average voltage. The dependence of the depth of penetration into the substrate elements deposited on their concentrations at the surface of the coating. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2015
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=24449628 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645735 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 645735 | ||
| 005 | 20250327162749.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\10826 | ||
| 090 | |a 645735 | ||
| 100 | |a 20160120d2015 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние состава плазмы на механические напряжения в покрытии из нитрида титана |d Influence of composition of plasma on mechanical tension in the covering from nitride of the titan |f С. А. Шанин, А. Г. Князева | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 321 (14 назв.)] | ||
| 330 | |a Осуществлен расчет НДС системы подложка - покрытие при осаждении из плазмы титана и азота. Показано влияние концентрации осаждаемых элементов у поверхности растущего покрытия на распределения напряжений вдоль радиуса, а также на средние значения напряжений. Определена зависимость глубины проникновения осаждаемых элементов в подложку от их концентрации у поверхности покрытия. | ||
| 330 | |a The work was done calculation of VAT system "substrate-coating" in the deposition of titanium and nitrogen plasma. Shows the influence the concentration of elements deposited on the surface of the growing coating on the stress distribution along the radius, as well as on the average voltage. The dependence of the depth of penetration into the substrate elements deposited on their concentrations at the surface of the coating. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 58, № 6-2 |v [С. 317-321] |d 2015 | ||
| 510 | 1 | |a Influence of composition of plasma on mechanical tension in the covering from nitride of the titan |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a растущие покрытия | |
| 610 | 1 | |a изменения | |
| 610 | 1 | |a состав | |
| 610 | 1 | |a напряжения | |
| 610 | 1 | |a деформации | |
| 610 | 1 | |a диффузионные зоны | |
| 700 | 1 | |a Шанин |b С. А. |c физик |c программист, старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1985- |g Сергей Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32709 |9 16595 | |
| 701 | 1 | |a Князева |b А. Г. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Анна Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578 |9 11508 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160202 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=24449628 | |
| 942 | |c CF | ||