Влияние состава плазмы на механические напряжения в покрытии из нитрида титана; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2

Dettagli Bibliografici
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 317-321]
Autore principale: Шанин С. А. Сергей Александрович
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Altri autori: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Riassunto:Заглавие с экрана
Осуществлен расчет НДС системы подложка - покрытие при осаждении из плазмы титана и азота. Показано влияние концентрации осаждаемых элементов у поверхности растущего покрытия на распределения напряжений вдоль радиуса, а также на средние значения напряжений. Определена зависимость глубины проникновения осаждаемых элементов в подложку от их концентрации у поверхности покрытия.
The work was done calculation of VAT system "substrate-coating" in the deposition of titanium and nitrogen plasma. Shows the influence the concentration of elements deposited on the surface of the growing coating on the stress distribution along the radius, as well as on the average voltage. The dependence of the depth of penetration into the substrate elements deposited on their concentrations at the surface of the coating.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Lingua:russo
Pubblicazione: 2015
Soggetti:
Accesso online:http://elibrary.ru/item.asp?id=24449628
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645735

MARC

LEADER 00000nla0a2200000 4500
001 645735
005 20250327162749.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\10826 
090 |a 645735 
100 |a 20160120d2015 k||y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
135 |a drnn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Влияние состава плазмы на механические напряжения в покрытии из нитрида титана  |d Influence of composition of plasma on mechanical tension in the covering from nitride of the titan  |f С. А. Шанин, А. Г. Князева 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 321 (14 назв.)] 
330 |a Осуществлен расчет НДС системы подложка - покрытие при осаждении из плазмы титана и азота. Показано влияние концентрации осаждаемых элементов у поверхности растущего покрытия на распределения напряжений вдоль радиуса, а также на средние значения напряжений. Определена зависимость глубины проникновения осаждаемых элементов в подложку от их концентрации у поверхности покрытия. 
330 |a The work was done calculation of VAT system "substrate-coating" in the deposition of titanium and nitrogen plasma. Shows the influence the concentration of elements deposited on the surface of the growing coating on the stress distribution along the radius, as well as on the average voltage. The dependence of the depth of penetration into the substrate elements deposited on their concentrations at the surface of the coating. 
333 |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса 
461 |t Известия вузов. Физика  |o научный журнал  |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ)  |d 1957- 
463 |t Т. 58, № 6-2  |v [С. 317-321]  |d 2015 
510 1 |a Influence of composition of plasma on mechanical tension in the covering from nitride of the titan  |z eng 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a растущие покрытия 
610 1 |a изменения 
610 1 |a состав 
610 1 |a напряжения 
610 1 |a деформации 
610 1 |a диффузионные зоны 
700 1 |a Шанин  |b С. А.  |c физик  |c программист, старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1985-  |g Сергей Александрович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32709  |9 16595 
701 1 |a Князева  |b А. Г.  |c российский физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1962-  |g Анна Георгиевна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578  |9 11508 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)  |b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160202  |g RCR 
856 4 |u http://elibrary.ru/item.asp?id=24449628 
942 |c CF