Влияние состава плазмы на механические напряжения в покрытии из нитрида титана; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 317-321] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Otros Autores: | |
| Sumario: | Заглавие с экрана Осуществлен расчет НДС системы подложка - покрытие при осаждении из плазмы титана и азота. Показано влияние концентрации осаждаемых элементов у поверхности растущего покрытия на распределения напряжений вдоль радиуса, а также на средние значения напряжений. Определена зависимость глубины проникновения осаждаемых элементов в подложку от их концентрации у поверхности покрытия. The work was done calculation of VAT system "substrate-coating" in the deposition of titanium and nitrogen plasma. Shows the influence the concentration of elements deposited on the surface of the growing coating on the stress distribution along the radius, as well as on the average voltage. The dependence of the depth of penetration into the substrate elements deposited on their concentrations at the surface of the coating. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lenguaje: | ruso |
| Publicado: |
2015
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://elibrary.ru/item.asp?id=24449628 |
| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645735 |
| Sumario: | Заглавие с экрана Осуществлен расчет НДС системы подложка - покрытие при осаждении из плазмы титана и азота. Показано влияние концентрации осаждаемых элементов у поверхности растущего покрытия на распределения напряжений вдоль радиуса, а также на средние значения напряжений. Определена зависимость глубины проникновения осаждаемых элементов в подложку от их концентрации у поверхности покрытия. The work was done calculation of VAT system "substrate-coating" in the deposition of titanium and nitrogen plasma. Shows the influence the concentration of elements deposited on the surface of the growing coating on the stress distribution along the radius, as well as on the average voltage. The dependence of the depth of penetration into the substrate elements deposited on their concentrations at the surface of the coating. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|