Эволюция состава покрытия при осаждении Ti и N на подложку цилиндрической формы

Dades bibliogràfiques
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 311-316]
Autor principal: Шанин С. А. Сергей Александрович
Altres autors: Князева А. Г. Анна Георгиевна, Крюкова О. Н. Ольга Николаевна
Sumari:Заглавие с экрана
Представлены результаты численного исследования эволюции состава покрытия, осаждаемого на поверхности детали цилиндрической формы из плазмы, содержащей титан и азот. Расчеты осуществлены на основе связанной модели, учитывающей различные механизмы переноса и стадийность химических реакций в покрытии. Эволюция состава связана как непосредственно с процессами переноса и химическими реакциями, так и с изменением эффективных свойств.
Results of numerical research of evolution of structure of the covering besieged on a surface of a detail of a cylindrical form from the plasma containing the titan and nitrogen are presented. Calculations are perfromed basув on the connected model considering various mechanisms of transfer and staging of chemical reactions in a covering. Evolution of structure is connected with transfer processes, chemical reactions and with change of effective properties.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:rus
Publicat: 2015
Matèries:
Accés en línia:http://elibrary.ru/item.asp?id=24449626
Format: Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645627