Эволюция состава покрытия при осаждении Ti и N на подложку цилиндрической формы

Эволюция состава покрытия при осаждении Ti и N на подложку цилиндрической формы

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 311-316]
Main Author: Шанин С. А. Сергей Александрович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors: Князева А. Г. Анна Георгиевна, Крюкова О. Н. Ольга Николаевна
Summary:Заглавие с экрана
Представлены результаты численного исследования эволюции состава покрытия, осаждаемого на поверхности детали цилиндрической формы из плазмы, содержащей титан и азот. Расчеты осуществлены на основе связанной модели, учитывающей различные механизмы переноса и стадийность химических реакций в покрытии. Эволюция состава связана как непосредственно с процессами переноса и химическими реакциями, так и с изменением эффективных свойств.
Results of numerical research of evolution of structure of the covering besieged on a surface of a detail of a cylindrical form from the plasma containing the titan and nitrogen are presented. Calculations are perfromed basув on the connected model considering various mechanisms of transfer and staging of chemical reactions in a covering. Evolution of structure is connected with transfer processes, chemical reactions and with change of effective properties.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2015
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
растущие покрытия
перемешивание
изменения
напряжения
деформация
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=24449626
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645627

Similar Items

Similar Items