Magnetron deposition of TCO films using ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
| Parent link: | Journal of Physics: Conference Series Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015).— 2015.— [012046, 4 p.] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | , |
| Riassunto: | Title screen Thin films of tin oxide (TO) were deposited on the glass substrates at room temperature using reactive magnetron sputtering at various oxygen partial pressures. After the deposition the films were irradiated with argon ions beam. The change of the optical and electrical properties of the films depending on the irradiation time was studied. Films optical properties in the range of 300-1100 nm were investigated by photometry as well as their structural properties were studied using X-ray diffraction. Diffractometric research showed that the films, deposited on a substrate, have a crystal structure, and after argon ions irradiation they become quasi-crystalline (amorphous). It was found that the transmission increases proportionally with the irradiation time, but the surface resistance -disproportionally. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
2015
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/652/1/012046 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/18225 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=644620 |
Documenti analoghi
Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Pubblicazione: (2019)
Pubblicazione: (2019)
Thin RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite-based coating for permanent and biodegradable alloys; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
Pubblicazione: (2014)
Pubblicazione: (2014)
High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Pubblicazione: (2019)
Pubblicazione: (2019)
Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Pubblicazione: (2004)
Pubblicazione: (2004)
Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141
Pubblicazione: (2017)
Pubblicazione: (2017)
Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Pubblicazione: (2016)
Pubblicazione: (2016)
Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
di: Пархоменко Ю. Н.
Pubblicazione: (Москва, МИСИС, 2017)
di: Пархоменко Ю. Н.
Pubblicazione: (Москва, МИСИС, 2017)
Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
di: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Pubblicazione: (2019)
di: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Pubblicazione: (2019)
Ntibacterial potential of Zn- and Cu- substituted hydroxyapatite coatings deposited by RF-magnetron sputtering: structure and properties; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Pubblicazione: (2019)
Pubblicazione: (2019)
Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Antibacterial PLGA and PCL membranes, modified by magnetron sputtering method of copper target; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 1093 : Advanced Materials for Engineering and Functional Purposes (AMEFP 2020)
di: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Pubblicazione: (2021)
di: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Pubblicazione: (2021)
Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Pubblicazione: (2019)
Pubblicazione: (2019)
Formation and Characterization of Crystalline Hydroxyapatite Coating with the (002) Texture; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science
Pubblicazione: (2016)
Pubblicazione: (2016)
Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
di: Luchin A. V.
Pubblicazione: (2019)
di: Luchin A. V.
Pubblicazione: (2019)
Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1
di: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Pubblicazione: (2010)
di: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Pubblicazione: (2010)
Фазовые превращения в наноструктурных покрытиях на основе Zr-Y-O сформированных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Бардова А. Е.
Pubblicazione: (2015)
di: Бардова А. Е.
Pubblicazione: (2015)
Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме; Химическая физика и мезоскопия; Т. 14, № 4
Pubblicazione: (2012)
Pubblicazione: (2012)
The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Pubblicazione: (2013)
di: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Pubblicazione: (2013)
Исследование структурно-фазового состояния и оптических свойств покрытий Al-Si-N; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
di: Божко И. А. Ирина Александровна
Pubblicazione: (2015)
di: Божко И. А. Ирина Александровна
Pubblicazione: (2015)
Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Першукова А. Г.
Pubblicazione: (2016)
di: Першукова А. Г.
Pubblicazione: (2016)
Влияние нанокомпозитных покрытий 12Х18Н10Т на триботехнические свойства металлополимерной пары трения "Сталь 38ХН3МФА - полиамид ПА-66"; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 3
Pubblicazione: (2006)
Pubblicazione: (2006)
Influence irradiation argon ion SnO[2] on optical and electrical characteristics; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
di: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Pubblicazione: (2017)
di: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Pubblicazione: (2017)
Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Бардова А. Е.
Pubblicazione: (2015)
di: Бардова А. Е.
Pubblicazione: (2015)
Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
di: Лязгин А. О.
Pubblicazione: (2010)
di: Лязгин А. О.
Pubblicazione: (2010)
The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Antibacterial potential of Zn- and Cu-substituted hydroxyapatite-based coatings deposited by RF-magnetron sputtering; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1393 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Pubblicazione: (2019)
Pubblicazione: (2019)
Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings; Vacuum; Vol. 200
Pubblicazione: (2022)
Pubblicazione: (2022)
Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней; Современные технологии и материалы новых поколений
di: Гирш А. В.
Pubblicazione: (2017)
di: Гирш А. В.
Pubblicazione: (2017)
Формирование поверхностных слоёв на основе пористого кремния, выполняющих роль контейнерных материалов для лекарственных средств; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
di: Лучин А. В.
Pubblicazione: (2022)
di: Лучин А. В.
Pubblicazione: (2022)
Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
di: Ажгихин М. И.
Pubblicazione: (2015)
di: Ажгихин М. И.
Pubblicazione: (2015)
Investigation of the Structural-Phase State and the Impact-Protective Properties of Optically Transparent Si-Al-N Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
Pubblicazione: (2015)
Pubblicazione: (2015)
Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Pubblicazione: (2014)
di: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Pubblicazione: (2014)
Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Pubblicazione: (2019)
Pubblicazione: (2019)
Investigation of the Microstructure and Mechanical Properties of Si-Al-N Transparent Coatings; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
Pubblicazione: (2016)
Pubblicazione: (2016)
Evolution of the Grain Structure in the Layer of Zr-Y-O in Multilayer Coating on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N at a High Temperature in the "In-Situ" Observation; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Pubblicazione: (2018)
Pubblicazione: (2018)
Исследование структурно-фазового состояния и механических свойств керамических покрытий на основе Si-Al-N; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
di: Пузанова К. С.
Pubblicazione: (2014)
Исследование структурных свойств композитных материалов из сополимера ВДФ-ТеФЭ, модифицированных методом DC магнетронного напыления; Химия и химическая технология в XXI веке
di: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Pubblicazione: (2020)
di: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Pubblicazione: (2020)