Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода; Журнал технической физики; Т. 79, вып. 4 - Ремнёв (Ремнев) Г. Е. Геннадий Ефимович; Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович; Найден Е. П.; Салтымаков М. С. Максим Сергеевич; Степанов А. В. Андрей Владимирович; Штанько М. А. Марина Александровна (2009, 2009)
Заглавие с экрана