Способ и устройство нанесения покрытий методом плазмохимического осаждения
| Autor Corporativo: | |
|---|---|
| Outros autores: | , , , |
| Summary: | опубл. 10.06.03 Изобретение может быть использовано для нанесения упрочняющих покрытий на режущий инструмент, для синтеза неорганических покрытий, в том числе многокомпонентных и многослойных. Техническим результатом изобретения является снижение времени формирования слоя покрытия, что резко уменьшает количество посторонних примесей в материале покрытия, возможность инициирования новых плазмохимических реакций, в том числе неравновесных, возможность использования пучков заряженных частиц любого сечения, не ограниченных диафрагмой вакуумного сопротивления. |
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
|
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPAT&rn=7216&DocNumber=2205893&TypeFile=html |
| Formato: | Electrónico Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643696 |